SEMILABの製品一覧

  • CV測定/IV測定装置 インライン汚染管理モニター FAaST
    CV測定/IV測定装置インライン汚染管理モニターFAaSTは、半導体シリコンウェハーや化合物半導体SiCの汚染評価・検査用途で、半導体業界で幅広く使用されています。世界で400台以上の実績がある非接触・非破壊式の重金属汚染・CV/IV・膜評価・検査装置です。 CV測定/IV測定 FAaSTでは、測定原理としてDSPVを採用することで鉄濃度測定の感度E8を実現し、特に近年のCMOSイメージセンサーやSiCパワーデバイスの歩留まり向上に寄与しております。
  • DLTSシステム DLS-1000
    DLTS測定評価システム「DLS-1000」は、ウェハープロセス時に生じる金属汚染及びダメージ等による結晶欠陥を電気的に高感度に測定・分析を行うシステムです
  • 非接触CV測定装置 ACV-2500/3000
    非接触CV測定装置ACV-2500/3000では、ウェハがP型の場合にはプローブへ強電界として正の電極、N型の場合は負の電極を与える事で空乏層を伸ばす原理を利用しています。 この空乏層の伸びからキャリア濃度を算出し、ASTM・F723を使用して比抵抗へ変換させます。 ACVはガードと呼ばれる電極をプローブの周囲に張り巡らせ、印可電圧とは逆の電界を印可する事により、少数キャリアの侵入を防ぎます。これにより、正確なプロファイル測定を可能にしています。
  • ライフタイム測定装置 WT-2000
    ライフタイム測定装置WT-2000は、半導体、太陽電池業界においてキャリアのライフタイムを評価するために幅広く使用されています。u-PCD法によりシリコン・ブロックやウェハーのマイノリティキャリア・ライフタイム測定をし、マッピング表示が可能です。 (シリコン・ウェハー/ブロック) ※ インライン全自動ライフタイム測定装置 WT-2000PIもございます。
  • 高効率太陽電池開発用測定装置 PV-2000
    PV-2000は、Semilab社とSDI社の技術を結合した太陽電池開発用の総合測定装置です。
  • Junction Photo Voltage(JPV)
    JPV法により、非接触で、PNジャンクションのジャンクション・リーク、空乏層の容量評価、PN接合試料のシート抵抗を高速に測定します。半導体プロセス管理で多数の実績がございます。
  • 非接触・非破壊インプラモニター PMR-3000
    非接触・非破壊インプラモニターPMR-3000はインプラ後のドーズ量モニタリング、加えてアニール処理前後のジャンクション深度測定を非接触・非破壊で行う装置です
  • シリコンブロック内異物検査装置 IRB-50
    IRB-50は、赤外線を使用し、シリコンブロックの内部異物(主にSiC, SiNなど)を検査する装置です。 ワイヤーソー等でシリコンブロックをスライスする際に、事前にIRB-50にて内部異物を検出し、対応することによって、ワイヤーソーのダメージ、断線を抑えることが可能です。 IRB-30の後継機となり、エリアスキャンからラインスキャンとなったことで、測定分解能、精度、設置面積が改善されました。
  • 結晶欠陥測定装置 LST-300
    結晶欠陥測定装置LST-300は、半導体の結晶欠陥を検査する装置です。入射レーザーにより生じたBMDの散乱光をウェハー断面近傍にあるCCDカメラで記録し、高い解像度による迅速な測定が可能です
  • 結晶欠陥分析装置 SIRM-300
    様々なバルク特性解析(バルク/半導体ウェハーの表面付近の酸素、金属 堆積物、空乏層、積層欠陥、スリップライン、転位)が可能です。 認識可能最少パーティクル20nm
  • 単結晶インゴット用ライフタイム測定器 WT-2000PI
    ライフタイム測定器 WT-2000PIは、e-PCD技術を使用し、 パッシベーション処理なしの単結晶シリコンインゴット状態で 少数キャリアライフタイムを測定します。
  • 比抵抗測定器 RT-1000
    比抵抗測定器 RT-1000は、ベストセラー機 RT-100の後継機種となり、渦電流技術を用いて、非接触/非破壊にてシリコンインゴット/ブロックの抵抗測定を可能とし、またシリコン端材、スクラップを含むシリコンインゴット原料のクラス分けにも最適です。
  • PN判定器 PN-100
    PN判定器 PN-100は、半導体材料を非接触/非破壊にてP/Nタイプ判定いたします。
  • インライン型ウェハー測定モジュール
    品質管理、製造歩留向上のためのインライン全自動ウェハー測定モジュールです。  搬送用ベルト上でノンストップにてライフタイム、比抵抗/厚さ、シート抵抗を測定します。 ウェハーの測定、測定後のウェハーソーティングが可能です。