ライフタイム測定装置 WT-1200 & WT-1200B

WT-1200 & WT-1200B

低コスト、非接触のシリコン単一ポイント測定

WT-1200とWT-1200Bは共に、高速で非接触のキャリア・ライフタイム測定法を用いており、太陽電池製造工程の各段階でシリコン材料の特性を評価できます。

WT-1200では、as-cutウェハーから太陽電池の完成品までのウェハーを測定できます。WT-1200Bはブロック測定用のモデルです。

特徴とシステム仕様:

  • ウェハー背面へのアクセスは不要
  • 全自動の操作とデータ評価
  • ウェハー上の任意の位置で測定を選択可能
  • 単結晶・多結晶材料の測定
  • 特許取得済みの化学的表面パッシベーションオプションをウェハーに使用可能
  • ウェハーを太陽電池製造工程の各段階後に測定可能:
    • 入りas-cutウェハー
    • 拡散ウェハー(リンガラス膜あり、またはなし)
    • 窒化被覆ウェハー
    • 金属被覆ウェハー
    • 太陽電池の完成品
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