エミッタ―シート抵抗測定装置 CMS, CLS

CMS、CLS

高速・非接触の材料特性評価とプロセス管理

エミッターシート抵抗は、エミッター拡散後のPVアプリケーションにおいて、シリコンウェハーに対する主要な品質管理パラメータです。

CLSモデル(CLS-1A、CLS-3A、CLS-5A)のエミッターシート抵抗測定システムでは、1~5ポイントのシート抵抗を、全自動のセル製造ラインにおけるインライン品質管理の要件を満たす高スループットで測定できます。

CMSモデル(CMS-1A、CMS-3A)のエミッターシート抵抗測定システムでは、搬送用ベルトを止めることなくウェハーを測定(「On the Fly」測定)することが可能です。したがって、セルの全自動製造ラインにおけるインライン品質管理の要件を満たす高スループットを実現します。

特徴とシステム仕様:

  • 測定法:非接触ジャンクション・フォトボルテージ(JPV)
  • サンプルサイズ:100~156mm(210mmはオプション)
  • サンプル構造:NPまたはPN接合
  • 測定範囲:10Ω/sq~200Ω/sq
  • プローブ距離:搬送用ベルト上のプローブ高さ=1.5mm
  • ウェハーの垂直位置公差:<400μm
  • サンプル支持部:ベルト上
  • 校正:4探針プローブで確認されたウェハーに基づく

オプション:

  • 測定モジュール(1A~5Aシート抵抗測定ヘッド付き)
  • 工業用PC(Windowsオペレーションシステム)と周辺装置
  • CLS-1Mエミッターチェッカー – オプション
  • ウェハー有無センサー(CMSのみ)

自動化とMES用に幅広いインターフェイスをご用意:

  • 光学的に絶縁された24V I/O、Ethernetインターフェイス
  • Profibus
  • OPC DA
  • TCP/IPプロトコル、コンテンツはXMLまたはASCIIに対応
  • SQLデータベース
  • SECS/GEM
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