PN判定器 PN-100

PN-100

PN-100は、半導体材料の導電型(pまたはn)を非接触で高速に判定できる使いやすい装置です。

特徴とシステム仕様:

  • 単結晶/多結晶材料やベア/酸化ウェハーなどのシリコンブロックとウェハーの型判定
  • 測定時間:0.5秒
  • 結果表示:
    • 赤LED=P型
    • 緑LED=N型
  • 抵抗率範囲:20mΩcm~3000Ωcm
  • 測定スポット:直径は距離によって異なる:約10~20mm
  • 励起深さ:約3μm
  • 測定距離は抵抗率と表面に依存:たとえば表面が研磨された10Ωcm材料の場合は約20mm
  • バッテリー交換までの測定回数:約10.000 
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