簡易分光エリプソメーター SE-1000

SE-1000

SE-1000は、モジュール性と高い測定性能を卓上型のコンパクト設計で実現しています。このコスト効率に優れた装置には、研究開発ラボに適した手動のゴニオメーターと手動のサンプル位置決め機能が装備されています。非接触・非破壊の光学的測定を基板や単層/多層サンプルで行い、個々の薄膜の膜厚や光学特性(屈折率、消衰係数)を取得します。SE-1000には、コンポーネントを交換可能なセミラボの新型高性能電子機器が搭載されており、新世代の動作・分析ソフトウェア(SAM/SEA)で動作します。このシステムは、PCやラップトップからLANネットワーク経由で制御することや、新型タッチパネルインターフェイスで制御することができます。

一般仕様:

  • 波長範囲:最大250nm~1690nm
    • 測定時間:数秒/1ポイント
    • Φ200mmサンプルステージ
    • 測定モード:

      • 回転補償子を用いた分光エリプソメトリー
      • 異方性サンプル向けに一般化されたエリプソメトリー
      • ミュラーマトリクス12成分
      • ジョーンズ行列
      • ポロシメトリー:薄膜中の細孔サイズ分布と細孔率の測定
      • in-situ測定モードで成膜またはエッチングプロセス中にリアルタイム制御が可能
         

      オプション:

      • マイクロスポット
      • スペクトルを近赤外まで拡大
      • 大気中における薄膜の細孔率分布測定
      • 液体セル、冷却/加熱ステージ
      • 可視化カメラ
      • 分光反射率計
      • 液体セル、冷却/加熱ステージ

       

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