IRSE
IRSEでは、
赤外領域（最大25μm）までの光学特性（屈折率、消衰係数）の測定が可能です。
一般的なエリプソメーターは、UV/可視/近赤外波長域（250～850nm）で層厚・屈折率・合金濃度の高精度メトロロジーに使用されていました。
旧SOPRA社は、
フーリエ変換型赤外分光エリプソメーター（IRSE）を早くも1993年に研究開発向けに提示しました。
赤外域はとても興味深い領域になります。なぜなら、多くの場合サンプルの化学組成に関連する吸収限界を検出できるからです。
また、この領域では厚さ情報もUV～可視域と同様に干渉縞から求めることができるからです。
さらに、赤外域では自由キャリア濃度が吸収係数に影響を与えるため、このパラメータをDrudeモデルに用いてエピタキシャル（Epi）膜の膜厚測定を非破壊で行うことが可能になりました。
