赤外分光エリプソメーター IRSE

IRSE

IRSEでは、赤外領域(最大25μm)までの光学特性(屈折率、消衰係数)の測定が可能です。一般的なエリプソメーターは、従来、UV/可視/近赤外波長域(250~850nm)で層厚、屈折率、合金濃度の高精度メトロロジーに使用されていました。旧SOPRA社では、フーリエ変換型赤外分光エリプソメーター(IRSE)を早くも1993年に研究開発向けに提示しました。赤外域は興味深い領域です。なぜなら、多くの場合、サンプルの化学組成に関連する吸収限界を検出できるからです。また、この領域では、厚さ情報も、UV~可視域と同様に干渉縞から求めることができます。さらに、赤外域では、自由キャリア濃度が吸収係数に影響を与えるため、このパラメータをDrudeモデルに用いてエピタキシャル(Epi)膜の膜厚測定を非破壊で行うことが可能です。

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