IRSE
IRSEでは、赤外領域(最大25μm)までの光学特性(屈折率、消衰係数)の測定が可能です。一般的なエリプソメーターは、UV/可視/近赤外波長域(250~850nm)層厚・屈折率・合金濃度の高精度メトロロジーに使用されていました。旧SOPRA社は、フーリエ変換型赤外分光エリプソメーター(IRSE)を研究開発向けに提示しました。赤外域はとても興味深い領域になります。なぜなら多くの場合、サンプル化学組成に関連する吸収限界を検出できるからです。また、領域では厚さ情報もUV~可視域と同様に干渉縞から求めることができるからです。さらに、赤外域では自由キャリア濃度が吸収係数に影響を与えるため、パラメータをDrudeモデルに用いてエピタキシャル(Epi)膜の膜厚測定を非破壊で行うことが可能になりました。