ロールツーロール用エリプソメーター R2R SE

R2R SE

膜の均一性・同質性を瞬時に特定することは、コーティング品質のin-situプロセス管理で重要な要素です。分光エリプソメトリー(SE)は、測定法として、薄箔基板上の薄膜コーティングの特性評価に必要な高速かつ確実な測定を保証します。セミラボの新型R2R SEメトロロジープラットフォームは、ロール間で移動中の金属箔の多層厚さと屈折率を、1ポイントあたり100ms未満の取得時間で、コーティングプロセスの直後にOn the Flyで特定します。

特徴とシステム仕様:

  • 多層コーティングの高速で正確な分析 - 評価のフィードフォワード機能
  • 一度に1つの層のみを順次に(ステップバイステップで)評価し、積層全体の分析は不要
  • 透明基板の裏面から反射される迷光の除去
  • スポットサイズ:500μm(633nm時)
  • スペクトル範囲:VIS/NIR

 

インライン管理:

  • 反射率
  • 層厚
  • Ga成分(CIGS)
  • 導電性(TCO)
  • ラフネス

 

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