TCOシート抵抗
薄膜のシート抵抗測定は、非接触・非破壊の渦電流法を用いて実現できます。渦電流測定は、コイル内の交流電流の流れに基づいています。発生した磁界がサンプル内に循環電流（渦電流）を生じさせます。渦電流測定は、実際には、材料内の電気損失を測定します。内蔵距離センサー（キャパシタンス測定に基づく）により、測定ヘッドがサンプルの上を一定の高さで移動します。その間、2つのセンサーが同じスポットを測定します。測定される信号はサンプルのシート抵抗およびプローブとサンプルとの間の距離にも左右されるため、シート抵抗の真値は距離値と渦電流信号から求めることができます。
渦電流は、導電性に優れた材料では、導電性が低い材料より高くなります。
特徴
- 非接触・非破壊の測定法
製品ラインナップ
WT
WT製品シリーズは、多数の異なる半導体材料特性評価を実行できる強力な測定プラットフォームです。ベースシステムには、電源、コンピュータ、オペレーティングソフト、XY測定ステージなど、特性評価を実行するために必要な間接機能がすべて含まれています。WT-2000は通常、マップを作成するために使用され、このマップ上でウェハーがプログラム可能なラスターでスキャンされます。各システムは、ユーザーの要件に応じて、処理機能や測定機能を追加して構成されます。
