ライフタイム測定装置 WT-2000 (μPCDキャリアライフタイム)

WT-2000

ライフタイム測定装置WT-2000は、多数の異なる半導体材料特性評価を実行できる強力な卓上型測定プラットフォームです。ベースシステムには、電源、コンピュータ、オペレーティングソフト、XY測定ステージなど、特性評価を実行するために必要な間接機能がすべて含まれています。このシリーズは通常、マップを作成するために使用され、このマップ上でウェハーがプログラム可能なラスターでスキャンされます。WT-2000では、プログラム可能な特定の位置で測定を実行することもできます。

セミラボでは、シリコン用の他に、短波長励起用レーザーを利用したワイドギャップ半導体(SiC,GaN)用のライフタイム測定装置も取り扱っています。

WT-2000は、中規模の製造工場や研究所にお勧めのシステムです。

特徴とシステム仕様:

  • ウェハーサイズ:ベア表面または誘電体被膜表面で最大300mm
  • ウェハーのハンドリング:手動またはセミラボ製インデクサ
  • ローディングオプション:
    • 100~200mmカセットインデクサ
    • 13スロット式300mmカセットインデクサ(100~300mmウェハー用オープンカセット付き)
    • 25スロット式300mmカセットインデクサ(100~300mmウェハー用FOUP、FOSB、オープンカセット付き)
  • サンプル:np接合(注入後、アニーリング後)
  • 自動化ソフトウェア:Merosoftware(300mm規格外用SECS/GEM通信オプション付き)
  • ファクトリーオートメーション:300mm規格外用SECS/GEM

各システムは、ユーザーの要件に応じて、以下の測定機能や自動化機能を追加して構成できます。

測定機能:

  • キャリア・ライフタイム測定用µ-PCD
  • 拡散長測定用SPV
  • 酸化物モニタリング用VQ
  • イオン注入測定用JPV
  • シート抵抗の渦電流測定

 

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