フォトルミネッセンス WT-2000 PL

WT-2000 PL

WT-2000シリーズは高速測定(20ウェハー/時 - 2500ポイント)が可能で、また、高分解能マッピング測定にも対応しています。

レーザーは、アプリケーションに合わせて266nm、355nm、405nm、532nm、785nm、980nmから複数の選択が可能です。

特徴とシステム仕様:

    型番   WT-2000 WT-2100 WT-2200
プラットフォーム 小型 中型 全自動
手動or自動 手動ローディング 手動ローディング ロードポート×2(FOUP/SMIF)
レーザー 励起レーザー×最大2種類 励起レーザー×最大3種類 励起レーザー×最大4種類
検出器 検出器×最大2種類 検出器×最大2種類 検出器×最大3種類
波長範囲 DUVから1.7µm(またはそれ以上)まで DUVからNIRまで DUVからNIRまで
ウェハーサイズ 50~200mm 50~300mm 150mm/200mmまたは300mm
オプション - ラマン分光、エリプソ、反射率計など ラマン分光、エリプソ、反射率計、FTIRなど
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