フォトルミネッセンス WT-2000 PL

WT-2000 PL

WT-2000シリーズは高速測定装置であり(20ウェハー/時 - 2500ポイント)、50mmまでの高い横方向分解能を誇ります。

特徴とシステム仕様:

  WT-2000 WT-2100

WT-2200

プラットフォーム 小型 中型 全自動
ローディング 手動ローディング 手動ローディング ロードポート×2(FOUP/SMIF)
レーザー 励起レーザー×2 励起レーザー×3 励起レーザー×3(第4のレーザーもリクエストに応じてご用意)
検出器 検出器×2 検出器×2 検出器×3
スペクトル範囲 DUVから1.7µm(またはそれ以上)まで DUVからNIRまで DUVからNIRまで
ウェハーサイズ 50~200mm 50~300mm 150mm/200mmまたは300mm
追加オプション - 第2のメトロロジー装置を構築可能(ラマン、SE、iSRなど) 3つの異なるメトロロジー装置(ラマン、SE、iSR、ボウ)を搭載できる非常に柔軟なプラットフォーム
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