キャリアライフタイム測定装置 WT-2010D

WT-2010D

WT-2000Dは、キャリア再結合ライフタイムと抵抗率を測定することでシリコンブロックの品質をモニタリングする総合的な測定装置です。最大で210×210×500mmのシリコンブロックに対して非接触測定を高速に行います(単一ポイント、ラインスキャンおよび/またはマップ)。手動と自動の測定モードがあり、ブロックローディング機能は手動です。

キャリア再結合ライフタイムは、多結晶シリコンブロックに対する主要な品質管理パラメータです。測定はµ-PCD法に基づいています。

抵抗率は渦電流法に基づいて測定されます。

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