キャリアライフタイム測定装置 WT-2000P

WT-2000P

WT-2000Pは、高スループットのインライン測定装置であり、キャリア再結合ライフタイムと抵抗率を測定することで、シリコンブロックの品質をモニターします。最大で210×210×500mmのシリコンブロックに対して非接触測定を高速に行います(単一ポイント、ラインスキャンおよび/またはマップ)。手動と自動の測定モードがあり、ブロックローディング機能にも手動と自動(搬送用ベルト)があります。また、高度なオートメーション機能も備えています。

キャリア再結合ライフタイムは、多結晶シリコンブロックに対する主要な品質管理パラメータです。測定はµ-PCD法に基づいています。
抵抗率は渦電流法に基づいて測定されます。

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