バルク抵抗率測定

シリコンウェハー、インゴット、ブロックのバルク抵抗率測定は、非接触・非破壊の渦電流法を用いて実現できます。交流電流がコイル内を流れると、その磁界がサンプル内に循環電流(渦電流)を生じさせます。渦電流測定は、実際には、材料内の電気損失を測定します。測定ヘッドがサンプルの上を一定の高さでサンプルに接触せずに動きます。測定される信号はサンプルの抵抗率、厚さ、プローブとサンプル間の距離によって変わるため、距離センサー(キャパシタンス測定に基づく)が内蔵されており、このセンサーが渦電流センサーのように同じスポットを測定します。距離の値と渦電流信号から、抵抗率の真の値を求めることができます。

測定される信号(Ueddy)は、常に、コイルとサンプル間の距離に加えて、次の要素によって変わります。

  1. ブロックなどの半無限サンプルの場合は、材料の抵抗率
  2. ウェハーなどの有限厚のサンプルの場合は、抵抗率と厚さ
  3. 薄膜の場合は、シート抵抗

渦電流は、導電性に優れた材料では、導電性が低い材料より高くなります。

非接触式渦電流プローブ

ウェハーマップ

ウェハーマップ

ブロックマップ

ブロックマップ

 

 

特徴

  • 非接触
  • 非破壊
  • 非常に高速
  • サンプルの準備が不要
製品ラインナップ

RT、WT

RTシリーズの製品では、結晶太陽電池材料の各種特性を測定できます。このシリーズの全製品は、一度に1ポイントずつの測定が可能です。測定位置はオペレータが自由に選択できます。

RTシリーズは、シリコンの原料であるブロックの抵抗率を測定します。オプションとして、PN判定器とウェハー厚測定を選択できます。

WT製品シリーズは、多数の異なる半導体材料特性評価を実行できる強力な測定プラットフォームです。ベースシステムには、電源、コンピュータ、オペレーティングソフト、XY測定ステージなど、特性評価を実行するために必要な間接機能がすべて含まれています。WT-2000は通常、マップを作成するために使用され、このマップ上でウェハーがプログラム可能なラスターでスキャンされます。各システムは、ユーザーの要件に応じて、処理機能や測定機能を追加して構成されます。

 

WT-2000PVN

 

 

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