RT-110
この比抵抗測定器は、シリコンウェハーを高速に分類する非接触バルク抵抗率測定装置です。渦電流技術を利用して動作します。RT-110比抵抗測定器は、半導体ウェハーそのものの抵抗率と厚さの測定に適しています。ウェハーのハンドリングは手動で行い、測定は自動で開始されます。RT-110は4つの異なる抵抗率範囲で測定が可能です。導電型の判定も内蔵のPN判定器で行えます。
特徴とシステム仕様：
- 抵抗率範囲：0.01～20Ωcm
- 操作はコンピュータで制御
- サンプルの準備が不要
- 測定時間：約1秒（ハンドリングを除く）
- 手動のウェハーローディング
オプション：
- 200～1000µmの範囲でのウェハー厚測定
- P/N導電型テスト用プローブ
