バルク抵抗率測定装置 RT-110

RT-110

この比抵抗測定器は、シリコンウェハーを高速に分類する非接触バルク抵抗率測定装置です。渦電流技術を利用して動作します。
RT-110比抵抗測定器は、半導体ウェハーそのものの抵抗率と厚さの測定に適しています。ウェハーのハンドリングは手動で行い、測定は自動で開始されます。RT-110は4つの異なる抵抗率範囲で測定が可能です。導電型の判定も内蔵のPN判定器で行えます。

特徴とシステム仕様

  • 抵抗率範囲:0.01~20Ωcm
  • 操作はコンピュータで制御
  • サンプルの準備が不要
  • 測定時間:約1秒(ハンドリングを除く)
  • 手動のウェハーローディング

オプション

  • 200~1000µmの範囲でのウェハー厚測定
  • P/N導電型テスト用プローブ
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