自動ライフタイム測定装置WTシリーズ

WT-2200、WT-2500、WT-3000

WTシリーズは、多数の異なる半導体材料特性評価を実行できる強力で独立型の測定プラットフォームです。ベースシステムには、電源、コンピュータ、オペレーティングソフト、XY測定ステージなど、特性評価を実行するために必要な間接機能がすべて含まれています。各システムは、さらに、ユーザーの要件に応じて、処理機能や測定機能を追加して構成されます。

特徴とシステム仕様:

  • ウェハーのハンドリング:ロボット、最大300mm
  • ドーズ量範囲:1012~5×1015 1/cm2
  • クリーンルームのクラス:クラス1ミニエンバイロメント
  • 処理:
    • ホットチャック/デソーバー
    • 線形コロナチャージャー&ピンチャージャー
    • 光学閃光
    • PTC – 低温RTP
仕様 WT-2200 WT-2500 WT-3000
ウェハーサイズ 最大200mm 150/200mmまたは200/300mm 200/300mm
ローディングオプション 200mmオープンカセット最大4つ
  • 300mmウェハー用FOUP
  • 300mmウェハー用FOSB
  • 200mmウェハー用オープンカセット(アダプター付き)
デュアルFOUPプラットフォーム
自動化ソフトウェア Wintau32(SECS/GEM通信オプション付き) Wintau32(SECS/GEM通信オプション付き) 全自動ソフトウェア
ファクトリーオートメーション

非対応

非対応、中規模の製造工場向け 対応、完全に自動化された大量生産施設向けに特別に設計、OHTオプション

以下の全測定法を1台のマッピング装置に統合可能:

  • マイクロ波誘導フォトコンダクタンス減衰
  • (µ-PCD)&電荷PCD/少数キャリア・ライフタイムマッピング
  • サーフェイス・フォトボルテージ(SPV)/拡散長マッピング
  • 鉄(Fe)濃度マッピング
  • 銅(Cu)濃度測定
  • µ-PCDまたはSPV用高輝度レーザー源
  • 電圧-電荷(V-Q)/酸化物&界面特性評価法
  • 可動イオン測定
  • シート抵抗マッピング用ジャンクション・フォトボルテージ測定
  • イオン注入モニタリング

WT製品シリーズはSEMI規格に準拠して設計されています。

 

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