自動ライフタイム測定装置WTシリーズ

WTシリーズは、多数の異なる半導体材料特性評価を実行できる強力で独立型の測定プラットフォームです。ベースシステムには、【電源・コンピュータ・オペレーティングソフト・XY測定ステージ】特性評価を実行するために必要な間接機能がすべて含まれています。各システムは、ユーザー様の要件に応じて、処理機能や測定機能を追加して構成されます。

特徴とシステム仕様：

• ウェハーのハンドリング：ロボット、最大300mm
• ドーズ量範囲：10¹²～5×10¹⁵ 1/cm²
• クリーンルームのクラス：クラス1ミニエンバイロメント
• 処理：
  • ホットチャック/デソーバー
  • 線形コロナチャージャー&ピンチャージャー
  • 光学閃光
  • PTC – 低温RTP

※以下の全測定法を1台のマッピング装置に統合可能：

• マイクロ波誘導フォトコンダクタンス減衰
• （µ-PCD）&電荷PCD/少数キャリア・ライフタイムマッピング
• サーフェイス・フォトボルテージ（SPV）/拡散長マッピング
• 鉄（Fe）濃度マッピング
• 銅（Cu）濃度測定
• µ-PCDまたはSPV用高輝度レーザー源
• 電圧-電荷（V-Q）/酸化物&界面特性評価法
• 可動イオン測定
• シート抵抗マッピング用ジャンクション・フォトボルテージ測定
• イオン注入モニタリング

WT製品シリーズはSEMI規格に準拠して設計されています。