非接触CV測定装置 FAaST 330/230 C-V / I-V

FAaST 330/230 CV/IVシステムは、特許取得済みのコロナ-ケルビン法に基づいてSemilab SDIの高度なCV/IV測定を行い、モニターウェハー上の誘電体と界面の特性を非接触でイメージングします。これらのプラットフォームには、中量～大量生産環境に適した、自動ウェハーハンドリング機能が装備されています。

このモデルの特徴は次のとおりです。

• ロボットによる自動ウェハーハンドリング
• SMIF、FOUPロードポート、Versaportなどの構成可能なオプションを備えた
  単一オープンカセットウェハーローディングステーション
• 表面電圧高速マッピングモードによるフルウェハーNVD検査と
  プラズマダメージモニタリング
• 次のような誘電体特性の部位の自動プログラミングまたは等高線マッピング：
  • 誘電体キャパシタンス（C_D）と厚さ（EOT）
  • 誘電体リーク電流（IV）
  • フラットバンド電圧（V_fb）
  • 界面トラップ密度（D_it）
  • 界面トラップ電荷（Q_it）
  • 半導体表面バリア（V_sb）
  • 酸化物総電荷（Q_tot）
  • 可動イオン電荷（Q_m）、など
• FAaSTソフトウェアパッケージ：測定、レシピ記述、データ表示アプリケーションなど
• 適した測定対象：高k/低k誘電体フィルム（SiO₂、SiN_x、Al₂O₃、HfO₂、混合された誘電体、積層誘電体フィルム）を持つ半導体（Si、SiGe、InGaAs、SiC、GaNなど）
• 100mm～300mmウェハーに合わせて構成可能（複数のウェハーサイズに対応し、
  直径がより小さいウェハーの手動ロードを可能にするためのオプション付き）
• ラインコンディショナーにより、柔軟な対応が可能
• Semilab SDIの他のFAaST装置の測定法を用いた構成に対応
• 追加オプション：ミニエンバイロメント、300mm SEMI準拠の自動化、耐震用ブラケット、ウェハーOCR/RFID/カセットバーコードリーダー、1000V V_cpd測定範囲