SPV装置 FAaST 330/230 DSPV

FAaST 330/230 DSPVシステムは、

重金属汚染の非接触・高速インラインモニタリングを行う世界トップクラスの装置であり、

10⁸ atoms/cm^-3以下のFe検出や中量～大量生産に適した自動ウェハーハンドリングが可能です。

特徴とシステム仕様：

• ロボットによる自動ウェハーハンドリング
• SMIF、FOUPロードポート、Versaportなどの構成可能なオプションを備えた単一オープンカセットウェハーローディングステーション
• 拡散長、鉄、他の再結合センター（Nr）の自動フルウェハー高速マッピング
• 裏面再結合（S_b）、定常状態拡散長（L₀）、銅測定などの高度なデジタルSPV機能用オプション
• FAaSTソフトウェアパッケージ（測定、レシピ記述、データ表示アプリケーションなど）
• 100mm～300mmウェハーに合わせて構成可能（複数のウェハーサイズに対応するためのオプション付き）
• ラインコンディショナーにより、柔軟な対応が可能
• Semilab SDIの他のFAaST装置の測定法を用いた構成に対応
• 追加オプション：ミニエンバイロメント、エッジグリップでのウェハーハンドリング、自動裏面測定用ウェハーフリッパー、300mm SEMI準拠の自動化、耐震用ブラケット、ウェハーOCR/RFID/カセットバーコードリーダー