SPV装置 FAaST 310/210 SPV

FAaST 310/210 SPV

FAaST 310/210 SPVシステムは、高速なフルウェハー汚染イメージングを、研究開発や少量生産環境に適した設計で行います。 

特徴とシステム仕様:

  • 手動のウェハーローディング(カセットステーションと真空ピンセットを装備)
  • 拡散長、鉄、他の再結合センター(Nr)の自動フルウェハー高速マッピング
  • FAaSTソフトウェアパッケージ(測定、レシピ記述、データ表示アプリケーションなど)
  • 50mm~300mmウェハーに合わせて構成可能(複数のウェハーサイズに対応するためのオプション付き)
  • 降圧変圧器により、柔軟な対応が可能
  • 追加オプション:自動データアップロード/データエクスポート、耐震用ブラケット
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