SPV装置 FAaST 350 DSPV

FAaST 350 DSPV

FAaST 350 DSPVシステムは、重金属汚染の非接触・高速モニタリングを行う世界トップクラスの主力プラットフォームです。108 atoms/cm-3以下のFe検出や、デュアルFOUPロードポートローディングステーションからの自動ウェハーハンドリングが可能であり、最も要件の厳しい大量生産環境を完全にサポートできます。

特徴とシステム仕様:

  • ロボットによる自動ウェハーハンドリング
  • デュアルFOUPロードポート:単一ロードポートまたはVersaportを備えたオプション構成
  • 拡散長、鉄、他の再結合センター(Nr)の自動フルウェハー高速マッピング
  • 裏面再結合(Sb)、定常状態拡散長(L0)、銅測定などの高度なデジタルSPV機能用オプション
  • FAaSTソフトウェアパッケージ(測定、レシピ記述、データ表示アプリケーションなど)
  • 初期構成は300mmウェハー用で、200mm/300mmブリッジ構成もオプションでご用意
  • ラインコンディショナーにより、柔軟な対応が可能
  • Semilab SDIの他のFAaST装置の測定法を用いた構成に対応
  • 追加オプション:ミニエンバイロメント、エッジグリップでのウェハーハンドリング、自動裏面測定用ウェハーフリッパー、300mm SEMI準拠の自動化、耐震用ブラケット、ウェハーOCR/RFID/カセットバーコードリーダー
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