全自動シート抵抗測定装置 RTシリーズ

RT-2500、RT-3000

セミラボの新世代シート抵抗測定装置は、自動化レベルが低くコスト効率に優れたプラットフォーム(WT)から、SEMI規格に完全に準拠したプラットフォーム(RT)までの幅広いプラットフォームに、4探針プローブ(4PP)と非接触測定法を組み合わせています。従来式の4PPの他に、非接触測定をBEOL(金属層厚)に導入することや(EDDYを使用)、FEOL(注入モニタリング)に導入することもできます(JPVを使用)。

特徴とシステム仕様:

  • 検査領域:シートウェハー全体
  • プローブ:4PP(FEOL & BEOL)、EDDY(BEOL)、JPV(FEOL)
  • 1つ~4つの永久4PPヘッドで異なる範囲&アプリケーションに対応し、所有コストを削減
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