RT-2500、RT-3000
セミラボの新世代シート抵抗測定装置は、ラボ用のコスト効率に優れたプラットフォーム（WT）から、半導体製造プロセス用のSEMI規格に完全に準拠したプラットフォーム（RT）までの幅広いプラットフォームに、4探針プローブ（4PP）と非接触測定法を組み合わせています。従来式の4PPの他に、非接触測定をBEOL（金属層厚）に導入することや（EDDYを使用）、FEOL（注入モニタリング）に導入することもできます（JPVを使用）。
特徴とシステム仕様：
- 検査領域：シートウェハー全体
- プローブ：4PP（FEOL & BEOL）、EDDY（BEOL）、JPV（FEOL）
- 1つ～4つの永久4PPヘッドで異なる範囲&アプリケーションに対応し、所有コストを削減
