4探針プローブによるシート抵抗測定

 

4探針プローブ(4PP)は、ドーピング密度、抵抗率、エミッターシート抵抗値のモニタリングを行うために広く使用されている接触測定法です。電圧と電流の電極を分離することで、接触抵抗の影響を測定結果から排除します。使用電圧が制限されているため、高抵抗率範囲では測定可能な電流が非常に小さくなり、これが測定に対する制限となります。当社では、6探針プローブ(6PP)法を用いることでこの問題を解決し、探針を2本追加して測定ノイズを可能な限り抑制しています。

4探針プローブによるシート抵抗測定

4探針プローブによるシート抵抗測定

メトロロジーの概要

4本の探針がサンプルに接触すると、電流発生器が、事前に定義されている電流を、外側の探針を介してサンプルに流します。2本の内側の探針は、探針間電圧を測定するために使用されます。この2つのパラメータから、サンプルのシート抵抗を計算できます。探針間の間隔は均等です(4PPでは1mm、6PPでは1.5mm)。探針は炭化タングステン製(4PP)あるいはステンレス製(6PP)です。4PPの場合、探針の接触力と曲率は所定の材料に応じて選択できます。このタイプの測定法は、自己校正に基づいているため、定期的な校正は不要です。

 

特徴

  • 6PPは測定範囲を1TΩ/sqまで拡大
  • 探針の曲率とプローブ力を幅広く選択できるため、破壊を抑えて精密な結果を得ることが可能
製品ラインナップ

WT、FPP

FPP製品シリーズでは、単純で使いやすい測定法を採用しており、薄膜の半導体抵抗率とシート抵抗を測定するのに適しています。このシリーズは、他の抵抗率測定法に対する基準を提供するために使用できます。

WT製品シリーズは、多数の異なる半導体材料特性評価を実行できる強力な測定プラットフォームです。ベースシステムには、電源、コンピュータ、オペレーティングソフト、XY測定ステージなど、特性評価を実行するために必要な間接機能がすべて含まれています。
WT-2000は通常、マップを作成するために使用され、このマップ上でウェハーがプログラム可能なラスターでスキャンされます。各システムは、ユーザーの要件に応じて、処理機能や測定機能を追加して構成されます。
WT-1200シリーズは、単結晶のインゴットと小片向けに特別に開発された、非接触バルクライフタイム&抵抗率測定システムです。

WT、FPP

 

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