少数キャリア・ライフタイム測定装置 WT-2000PI

WT-2000PI

e-PCD法に基づいてシリコンインゴットで少数キャリア・ライフタイムをモニターする完全な測定装置。

WT-2000PIライフタイムスキャナーは、e-PCD法に基づいてØ300×500mmまでのシリコンインゴットでパッシベーションなしで少数キャリア・ライフタイムをモニターする完全な測定装置です。非接触測定を高速に行います(シリコンインゴット上の単一ポイント、ラインスキャンおよび/またはマップ)。手動と自動の測定モードがあり、手動のインゴットローディング機能を装備しています。

特徴とシステム仕様:

  • サンプルサイズ:最大300×500mm
  • ローディング:手動
  • サンプル抵抗率範囲:0.5~10000Ωcm
  • カラーマップ形式のデータ出力
  • データと画像はWordなどの他のWindowsアプリケーションで簡単に交換可能
  • 複数のデータファイルを同時に操作
  • 測定中にデータを評価
  • TCP/IPプロトコルベースのSECS/GEMなどのオープンネットワークソリューション
  • ローカル/リモートデータベースサーバーに対応(ODBC)
  • サンプルの自動/手動記録などの通信が可能

オプション:

  • 小片測定(必要最小厚:20mm)
  • 抵抗率測定
  • P/N導電型判定器
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