In-Situ エリプソメーター inSE-1000

inSE-1000

新型in-situ膜厚測定装置inSE-1000では、真空室やロードロック室内での成膜プロセス中に、分光エリプソメトリー分析を通じて層厚や光学特性を瞬時に取得できます。

inSE-1000は、成膜または処理プロセス中の真空室やロードロック室での測定用に特別に設計されたセミラボのエリプソメトリー装置ファミリーの一員です。搭載が簡単なアームを真空室やオフラインの試験台に配置して、最終製品の詳細な調査を行うことができます。電子コンポーネントと補助システムはキャビネット内に置かれ、キャビネットを成膜装置の隣に配置することができます。また、Ethernetインターフェイスを通じて、成膜装置と双方向通信プロトコルを用いたオンデマンド測定シーケンスを実行できます。

特徴とシステム仕様:

  • CF-40真空ポートインターフェイス
  • 75W、光ファイバーによるショートアークキセノンランプ
  • 回転補償子光学系
  • ビーム拡がり<0.2o(平行ビーム、集束なし)
  • 小型アーム
  • 高速モード用スペクトル分解能

ソフトウェア:

  • 測定データとフィッティング結果を即座に可視化:厚さと光学特性
  • 分散法、合金モデル、周期層、位相ノードモデル、異方性層評価などのあらゆる既知の手法やユーザー定義の自由な方程式で各層をモデリング
  • 成膜装置コンピュータでEthernetベースの通信プロトコルを使用
  • 最大の(n、k)データベース

 

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