分光エリプソメーター SE-2100 (回転補償子型)

SE-2100

分光エリプソメータSE-2100は、ラボ用装置であるSE-2000に安全カバーと高スピードサンプルステージを加えた研究開発用の分光エリプソメーターです。

安全カバーが付いた仕様のため、セキュリティーが厳しい製造工程でもご使用頂けます。有機ELや太陽電池、フラットパネルディスプレイの膜厚や光学特性の評価に最適です。自動高さ調整センサーにより、高速マッピング測定が可能です。 プリンテッドエレクトロニクス、光学&電気メトロロジー、薄膜コーティング特性評価、層厚管理などにご使用頂けます。

特徴とシステム仕様:

  • 回転補償子型 分光エリプソメーター
  • 波長範囲:最大193nm~2500nm
  • 350×450mmまでの矩形サンプルまたは300mmまでのウェハーを高速かつ正確に測定可能
  • 特別設計のチャックで軟質サンプルを保持
  • アクティブ振動減衰
  • 高分解能マッピングステージ
  • オムロン製高速自動フォーカスモジュール
  • サンプル可視化&パターン認識用垂直カメラ
  • ジョイスティックでサンプルを簡単に移動
  • CE & SEMI規格準拠

コンポーネント&オプション:

  • 分光エリプソメーター:
    • 高速取得を金属箔上で直接実行
    • 測定スポットをプラスチック基板用に調整
  • 分光反射率計:
    • 膜の反射率と透過率用
  • 非接触シート抵抗測定:
    • 渦電流による高速で正確なシート抵抗測定
    • 透明電極&金属用
  • ラマン、ライフタイムなどの他の測定法

アプリケーション:

  • ディスプレイ:TFT、OLED(ガラスまたは軟質基板上)
  • 照明:新型OLED照明アプリケーション。白色OLED
  • プリンテッドエレクトロニクス:軟質基板(トランジスタ、センサーなど)上のあらゆるプロセス
  • 太陽電池:小型薄膜PVパネル、TCOパネル
お問い合わせ
アプリケーション・テクノロジー情報

お問い合わせ

ご質問・ご相談はこちら

TEL 045-620-7960

日本セミラボ株式会社株式会社

〒222-0033
神奈川県横浜市港北区新横浜2-15-10
YS新横浜ビル6階
TEL: 045-620-7960(代表) FAX: 045-476-2146

セミラボグループ
セミラボグループロゴ
Semilab AMSロゴ
Semilab QC ロゴ
Semilab SDI ロゴ
Semilab Sopra ロゴ
Semilab SSM ロゴ