分光ヘイズ&反射率

ヘイズは、拡散的に散乱された光と全透過光の割合です。透過光の(直接)正反射部分は、光トラップディスクが開状態の場合、トラップに吸収されます。この状況では、収集されたスペクトルは透過光の散乱部分のみを分散させます。トラップディスクが閉じている場合、測定スペクトルは全透過光で構成されます。

分光ヘイズ&反射率

直接&散乱光の角度分布 直接&散乱光の角度分布

測定原理と基本レイアウト:

  • 光源は長寿命キセノンランプ
  • 二股石英ファイバーバンドル:中心バンドルと外側バンドル
  • 外側バンドルのファイバーは光源モジュールにSMAコネクターで接続される
  • 光がサンプルの均等照射に対して外側リングに送られ、反射が中心ファイバー(スリットで終端)で収集され、高分解能検出器に伝えられる

特徴

  • 非破壊・非接触の測定法
  • サンプルの準備が不要
  • マッピング:X-Y、Rho-Theta、Combo X-Y & Theta
  • 高分解能
  • 高速データ取得&評価
  • 高感度、CCDまたはOMA NIR検出器
製品ラインナップ

SE

>SEシリーズの独自のモジュール式光学プラットフォームには、分光エリプソメーターと回転補償子光学系が含まれています。このシステムは高いモジュール性と汎用性を誇り、単純な単層の膜厚測定から、より難しいアプリケーション(たとえばミュラーマトリクスを用いてポラリメトリー、スキャトロメトリー、エリプソメトリーを組み合わせたアプリケーションなど)までのニーズに応えます。また、独自の独立したアーム角度選択や微小マイクロスポットを装備しています。オプションの赤外領域対応のFTIRエリプソメーターヘッドを可視光用アーム付属の同じゴニオメーターに搭載する独自レイアウトにより、単一装置で深紫外(193nm)から中赤外(25µm)までの最も広いスペクトル範囲をカバーできます。

SEシリーズ

 

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