分光ヘイズ&反射率
ヘイズは、拡散的に散乱された光と全透過光の割合です。透過光の（直接）正反射部分は、光トラップディスクが開状態の場合、トラップに吸収されます。この状況では、収集されたスペクトルは透過光の散乱部分のみを分散させます。トラップディスクが閉じている場合、測定スペクトルは全透過光で構成されます。
直接&散乱光の角度分布
測定原理と基本レイアウト：
- 光源は長寿命キセノンランプ
- 二股石英ファイバーバンドル：中心バンドルと外側バンドル
- 外側バンドルのファイバーは光源モジュールにSMAコネクターで接続される
- 光がサンプルの均等照射に対して外側リングに送られ、反射が中心ファイバー（スリットで終端）で収集され、高分解能検出器に伝えられる
特徴
- 非破壊・非接触の測定法
- サンプルの準備が不要
- マッピング：X-Y、Rho-Theta、Combo X-Y & Theta
- 高分解能
- 高速データ取得&評価
- 高感度、CCDまたはOMA NIR検出器
製品ラインナップ
SE
>SEシリーズの独自のモジュール式光学プラットフォームには、分光エリプソメーターと回転補償子光学系が含まれています。このシステムは高いモジュール性と汎用性を誇り、単純な単層の膜厚測定から、より難しいアプリケーション（たとえばミュラーマトリクスを用いてポラリメトリー、スキャトロメトリー、エリプソメトリーを組み合わせたアプリケーションなど）までのニーズに応えます。また、独自の独立したアーム角度選択や微小マイクロスポットを装備しています。オプションの赤外領域対応のFTIRエリプソメーターヘッドを可視光用アーム付属の同じゴニオメーターに搭載する独自レイアウトにより、単一装置で深紫外（193nm）から中赤外（25µm）までの最も広いスペクトル範囲をカバーできます。
