転位欠陥可視化装置 EnVision

EnVision

EnVisionは、FEOLにおけるプロセス誘起の転位の早期検出や、新製品の学習曲線の短縮に不可欠な装置であり、化学的エッチングやX-TEMの代わりにインラインに追加できます。

 

特徴とシステム仕様:

  • 検査領域:
    • 製品ウェハー
      • 測定ボックス
      • デバイス内
    • ブランケットウェハー/モニターウェハー
  • 検出される欠陥:埋め込み拡張欠陥(転位、酸素析出物、COP、積層欠陥など)
  • 検出限界:<15nm(酸素析出欠陥のBMD検出に基づく)
  • データ取得:
    • 画像セグメンテーション(測定ボックスとデバイス領域)
    • ダイ間検査
    • 画像連結(FOVの拡大)
  • データ分析:
    • 統計ツール
    • 欠陥分類
    • バッチ/ロット再処理
  • データ出力:SECS GEM、KLARF、エクスポート

 

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