結晶欠陥検査装置 LSTシリーズ

LST-2100、LST-2500

LSTシリーズは、強力な微細結晶欠陥アナライザーです。BMDは入射光を散乱し、この光が、サンプルの切断端近くのCCDカメラで記録されます。

特徴とシステム仕様:

  • 高感度でサイズ15nmまでの欠陥を検出
  • 密度は最大2.5×1010cm-3まで検出可能
  • 特別オプションを使うと、欠陥分類、欠陥位置精度、熱処理制御の改良が可能
  • DZを1画像から特定
  • ウェハー径に沿った濃度分布を数分で測定
  • 深さ方向分解能:0.5μm
  • 最初のパーティクルは表面から5µm以内で検出
  • 全自動の操作(半分に切断されたウェハーのハンドリングなど)
  • 切断面の自動フォーカス
  • ウェハー全径のスキャン
  • 画像サイズ:400μm×2000μm、測定時間55秒
  • 切断面の自動フォーカス
  LST-2100 LST-2500
ウェハーのハンドリング 手動 自動ローディング 
アプリケーション領域 研究開発 ウェハー製造工場
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