非接触シート抵抗 Eddy current LEI-1510シリーズ

FAaLEI-1510EB-RP, LEI-1510EC-RP, LEI-1510EB-RS, LEI-1510EC-RS,LEI-1510EB, LEI-1510EC

2インチから最大 8インチまでの Si ウェーハ、化合物半導体(GaAs、GaN、InP等) epi ウエハを非接触・破壊にてシート抵抗測定します。

旧リハイトン社(Lehighton Electronics, Inc.)の装置です。

 

特徴とシステム仕様:

  • ・四探針方式で起こる、の接触汚染や具合によ再現性問題を解決。
  • ・ロボットを取り付ける事により、多数枚を迅速に計測処理する事が可能。
  • ・0.035 ~3200 ohm/sq.という広い範囲で優れた測定直線性。
  • ・計測データを三次元グラフィックマップとしてPC モニター上で確認可能。
  • 測定対象:

    • ・GaAs 、GaN (サファイア基板)等の化合物半導体

      (epi、熱拡散又はイオン注入によりドープした半絶縁ウエハ)。
    • ・バルクSi 、エピ、熱拡散、イオン注入、

       PoCl3等による高抵抗基板のドーピング均一性
    • ・薄膜メタライゼーション
    • その他の機能:

      • ・最大300 点まで計測可能
      • ・自動ドリフト補正
      • ・ソフトウェアで抵抗の測定範囲を選択可能
      • ・カセットTo カセット式ソーティング
      • ・外部膜厚入力
      • ・ウェーハマッピング(2 次元等高線、3 次元グラフィック)
      • ・SPC (Statistical Process Control )統計管理ソフト
お問い合わせ
アプリケーション・テクノロジー情報

日本セミラボ株式会社株式会社

〒222-0033
神奈川県横浜市港北区新横浜2-15-10
YS新横浜ビル6階
TEL: 045-620-7960(代表) FAX: 045-476-2146

セミラボグループ
セミラボグループロゴ
Semilab AMSロゴ
Semilab QC ロゴ
Semilab SDI ロゴ
Semilab Sopra ロゴ
Semilab SSM ロゴ