非接触シート抵抗 Eddy current LEI-1510シリーズ

2インチから最大 8インチまでの

・Si ウェーハ
・化合物半導体（GaAs、GaN、InP等）
・Epi ウエハを非接触・破壊にてシート抵抗測定します。

旧リハイトン社（Lehighton Electronics, Inc.）の装置です。

特徴とシステム仕様：

• • 4探針方式で起こり得る接触汚染や具合による再現性問題を解決。
  • ロボットを取り付ける事により、多数枚を迅速に計測処理する事が可能。
  • 0.035 ～3200 ohm／sq.という広い範囲で優れた測定直線性。
  • 計測データを三次元グラフィックマップとしてＰＣ モニター上で確認可能。

測定対象：

• • • GaAs 、GaN （サファイア基板）等の化合物半導体

      （epi、熱拡散又はイオン注入によりドープした半絶縁ウエハ）。

    • バルクSi 、エピ、熱拡散、イオン注入、

      　PoCl3等による高抵抗基板のドーピング均一性
    • 薄膜メタライゼーション

その他の機能：

• • • 最大300 点まで計測可能
    • 自動ドリフト補正
    • ソフトウェアで抵抗の測定範囲を選択可能
    • カセットTo カセット式ソーティング
    • 外部膜厚入力
    • ウェーハマッピング（2 次元等高線、3 次元グラフィック）
    • SPC （Statistical Process Control ）統計管理ソフト