非接触シート抵抗 Eddy current LEI-1510シリーズ

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2インチから最大 8インチまでの Si ウェーハ、化合物半導体(GaAs、GaN、InP等) epi ウエハを非接触・破壊にてシート抵抗測定します。

旧リハイトン社(Lehighton Electronics, Inc.)の装置です。

 

 

特徴とシステム仕様:

    • ・4探針方式で起こり得る接触汚染や具合による再現性問題を解決。
    • ・ロボットを取り付ける事により、多数枚を迅速に計測処理する事が可能。
    • ・0.035 ~3200 ohm/sq.という広い範囲で優れた測定直線性。
    • ・計測データを三次元グラフィックマップとしてPC モニター上で確認可能。

 

測定対象:

      • ・GaAs 、GaN (サファイア基板)等の化合物半導体

        (epi、熱拡散又はイオン注入によりドープした半絶縁ウエハ)。
      • ・バルクSi 、エピ、熱拡散、イオン注入、

         PoCl3等による高抵抗基板のドーピング均一性
      • ・薄膜メタライゼーション

 

その他の機能:

      • ・最大300 点まで計測可能
      • ・自動ドリフト補正
      • ・ソフトウェアで抵抗の測定範囲を選択可能
      • ・カセットTo カセット式ソーティング
      • ・外部膜厚入力
      • ・ウェーハマッピング(2 次元等高線、3 次元グラフィック)
      • ・SPC (Statistical Process Control )統計管理ソフト
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