非破壊インプラモニター PMR-3000

PMR-3000

イオンインプラモニター

セミラボのPMR-3000は、大幅な改良に支えられており、製品ウェハーの注入プロセスのインラインモニタリングを可能にし、注入システムの迅速で正確、かつ低コストの製造管理や、アニーリング前の注入のインラインモニタリングを実現します。

また、PMR-3000は、インプラ後のドーズ量モニタリング、加えてアニール処理前後のジャンクション深度測定を非接触・非破壊で測定します。

測定・評価項目:

  • インプラのドーズ量モニタリング
  • PAI深さ測定
  • ジャンクション深さ測定

特徴とシステム仕様:

  • ドーズ量
  • ドーズ量範囲:1×1010cm-2~1×1016cm-2
  • エネルギー範囲:100eV~3MeV
  • 注入種:As、B、P、BF2、In、Sb、C(他の種のアプリケーションも開発中)
  • プロセス要件:アニーリング前、注入後の層、表面酸化物
  • SEMI準拠(300mm)の全自動化
  • OHT対応可能
  • ティア1汚染(コンタミネーション)仕様に完全に準拠(クラス1ミニエンバイロメントを装備)
  • 2つのFOUPで最大300mmのウェハーのハンドリングが可能
  • 最新式ソフトウェア:
    • レシピベースの操作
    • ホスト通信
    • 複数のアクセスレベル
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