非破壊インプラ ダメージモニター PMR-3000

イオンインプラ　ダメージモニター

セミラボのPMR-3000は、大幅な改良に支えられており、製品ウェハーの注入プロセスのインラインモニタリングが可能になります。注入システムは迅速で低コストの製造管理・アニーリング前の注入のインラインモニタリングを実現します。また、PMR-3000は、インプラ後のドーズ量モニタリング、加えてアニール処理前後のジャンクション深度測定を非接触・非破壊で測定します。

測定・評価項目：

• インプラのドーズ量モニタリング
• PAI深さ測定
• ジャンクション深さ測定

特徴とシステム仕様：

• ドーズ量
• ドーズ量範囲：1×10¹⁰cm^-2～1×10¹⁶cm^-2
• エネルギー範囲：100eV～3MeV
• 注入種：As、B、P、BF₂、In、Sb、C（他の種のアプリケーションも開発中）
• プロセス要件：アニーリング前、注入後の層、表面酸化物
• SEMI準拠（300mm）の全自動化
• OHT対応可能
• ティア1汚染（コンタミネーション）仕様に完全に準拠（クラス1ミニエンバイロメントを装備）
• 2つのFOUPで最大300mmのウェハーのハンドリングが可能
• 最新式ソフトウェア：
  • レシピベースの操作
  • ホスト通信
  • 複数のアクセスレベル