PLI-101/A、PLI-103/A
ウェハー&セル検査用フォトルミネッセンス装置
ウェハーとセルの品質を、as-cutウェハーから完成セルまでの加工段階において、非破壊で測定できます。
高速かつ確実なインラインフォトルミネッセンス装置です。
製造の全段階にわたって材料の品質を完全に管理できます。
高品質のウェハーから高効率のセルが作られ、製造のコスト効率が高まります。
特徴とシステム仕様：
- 全自動のインラインフォトルミネッセンスイメージング&検査
- 完成セル、処理済みウェハー、as-cutウェハーの反射側のフォトルミネッセンス
- On the Flyライフタイム校正
- 校正済みライフタイムマップとカスタム分類パラメータによる品質説明
- サンプルサイズ：PLI-101/Aは最大156mm
- PLI-103/Aは最大162mm
- インラインで同等の高スループット
検出できる欠陥の種類：
PLI-101、PLI-103
材料：
- 高転位濃度
- クラック
- 高汚染（コンタミネーション）濃度
- エッジ（コーナー）汚染
- 高空隙濃度（単結晶ウェハー用）
- 低ライフタイム
PLI-101、PLI-103
配線：
- シャント
- エッジアイソレーション欠陥
- 不良フィンガー
PLI-101A、PLI-103A
パッシベーション管理（両面がパッシベートされたサンプル）
- On the FlyのJo & iVocマッピング（オプション）
自動版のPLI-200もご用意しています。
