インライン分光エリプソメーター SE-3000

開発&試験ラインに理想的な薄膜特性評価装置

SE-3000分光エリプソメーターは、マイクロエレクトロニクス、フラットパネルディスプレイ、コーティングの分野における開発と試験ラインのニーズを満たすよう設計されています。SE-3000はセミラボ社ベストセラーの前モデルをベースとしており、ウェハー用の2つのFOUPロードポート、高速ステージ、ハンドリングロボット、高速プリアライメントステーションと組み合わせて、高スループットを実現しています。SE-3000は、スペクトル範囲、性能、スポットサイズに関して、高性能仕様を有しています。

SE-3000には、ファンフィルターユニット付きの上部フレームと解析ソフトウェアを追加できます。