製品概要
SE-3000は、300mmウェーハまで対応した自動分光エリプソメーターで、量産ラインでの薄膜膜厚・光学定数評価に最適なスタンダードモデルです。 回転補償子方式と広い波長範囲により、先端プロセスの多層膜解析を高精度に行えます。
主な特長
- 回転補償子型 分光エリプソメーター方式。
- 8～12インチウェハ対応、自動搬送・自動マッピング測定を標準搭載。
- 波長レンジ：最大 193 nm～1650 nm。
- 高速・高精度測定：数秒／ポイントで量産ライン計測に対応。
- ミニエンバイロメント、FOUP、SECS GEM、OHT/AGVなど量産インターフェースに対応（オプション含む）。
主な仕様
| 項目 | 内容 |
|---|---|
| 測定波長範囲 | 193 nm ～ 1650 nm |
| スポット径 | 約 500 µm |
| 膜厚測定範囲 | 1 nm ～ 数十 µm（サンプルに依存） |
アプリケーション・オプション
- マイクロスポット光学系により、透明基板の裏面反射の影響を低減し、高精度測定を実現。
- 分光反射率計オプションと組み合わせることで、高速膜厚測定にも対応。
- Bow/Warp／応力測定、Ramanオプションなど、豊富な拡張機能を用意。
