インライン分光エリプソメーター SE-3000

SE-3000

開発&試験ラインに理想的な薄膜特性評価装置

SE-3000分光エリプソメーターは、マイクロエレクトロニクス、フラットパネルディスプレイ、コーティングの分野における開発と試験ラインのニーズを満たすよう設計されています。SE-3000はGES5Eをベースとしており、ウェハー用の2つのFOUPロードポート、高速ステージ、ハンドリングロボット、高速プリアライメントステーションと組み合わせると、本番装置に匹敵するスループットを実現できます。SE-3000は、スペクトル範囲、性能、スポットサイズに関して、GES5Eと同じ特性を有しています。

SE-3000には、ヘパフィルター付きの上部フレームと本番用ソフトウェアを追加できます。

お問い合わせ
アプリケーション・テクノロジー情報

お問い合わせ

ご質問・ご相談はこちら

TEL 045-620-7960

日本セミラボ株式会社株式会社

〒222-0033
神奈川県横浜市港北区新横浜2-15-10
YS新横浜ビル6階
TEL: 045-620-7960(代表) FAX: 045-476-2146

セミラボグループ
セミラボグループロゴ
Semilab AMSロゴ
Semilab QC ロゴ
Semilab SDI ロゴ
Semilab Sopra ロゴ
Semilab SSM ロゴ