高抵抗率測定装置 COREMA-2000

COREMA-2000

COREMA-2000は、非破壊・非接触にてシリコン・化合物半導体の抵抗率測定が可能です。 従来困難だった、半絶縁材料など超高抵抗基板へ対応します。

 

特徴とシステム仕様:

  • 測定対象: ウェハー基板 : GaAs, InP, GaN, CdTe, Si, SiCなど           
  • 基板厚さ :  250 – 5000 um まで対応
  • 測定可能抵抗率 : 105-1012 Ωcm
  • 再現性データ : 1%以下(105-109 Ωcm)
  • 測定可能エッジ端 : 2.5mm
  • その他の機能 : マッピング機能

 

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