WT-2000/2A
WT-2000は、中規模の製造工場や研究所にお勧めのシステムです。
特徴とシステム仕様：
- ウェハーサイズ：ベア表面または誘電体被膜表面で最大300mm
- ウェハーのハンドリング：手動またはセミラボ製インデクサ
- ローディングオプション：
- 100～200mmカセットインデクサ
- 13スロット式300mmカセットインデクサ（100～300mmウェハー用オープンカセット付き）
- 25スロット式300mmカセットインデクサ（100～300mmウェハー用FOUP、FOSB、オープンカセット付き）
- 光源：半導体レーザー（4レーザーまたはオプションの8レーザー式SPVヘッド）
- 対応波長：1015nm～660nm
- 2、4、8、16mmラスターによるフルマッピング
- 事前に定義した点でのポイント測定
- サンプル抵抗率：0.01Ωcmまで
- オプションバイアス光：
- 高輝度IR LED
- 30Wハロゲンランプ
- 鉄-ボロン自動解離装置 - 鉄濃度用
- プログラム可能な特定の位置で特定の測定を実行可能
各システムは、ユーザーの要件に応じて、以下の測定機能や自動化機能を追加して構成できます。
測定機能：
- キャリア・ライフタイム測定用µ-PCD
- 拡散長測定用SPV
- 酸化物モニタリング用VQ
- イオン注入測定用JPV
- シート抵抗の渦電流測定
