キャリアライフタイム測定装置 WT-2000 / 2A

WT-2000/2A

WT-2000は、中規模の製造工場や研究所にお勧めのシステムです。

特徴とシステム仕様:

  • ウェハーサイズ:ベア表面または誘電体被膜表面で最大300mm
  • ウェハーのハンドリング:手動またはセミラボ製インデクサ
  • ローディングオプション:
    • 100~200mmカセットインデクサ
    • 13スロット式300mmカセットインデクサ(100~300mmウェハー用オープンカセット付き)
    • 25スロット式300mmカセットインデクサ(100~300mmウェハー用FOUP、FOSB、オープンカセット付き)
  • 光源:半導体レーザー(4レーザーまたはオプションの8レーザー式SPVヘッド)
  • 対応波長:1015nm~660nm
  • 2、4、8、16mmラスターによるフルマッピング
  • 事前に定義した点でのポイント測定
  • サンプル抵抗率:0.01Ωcmまで
  • オプションバイアス光:
    • 高輝度IR LED
    • 30Wハロゲンランプ
  • 鉄-ボロン自動解離装置 - 鉄濃度用
  • プログラム可能な特定の位置で特定の測定を実行可能

各システムは、ユーザーの要件に応じて、以下の測定機能や自動化機能を追加して構成できます。

測定機能:

  • キャリア・ライフタイム測定用µ-PCD
  • 拡散長測定用SPV
  • 酸化物モニタリング用VQ
  • イオン注入測定用JPV
  • シート抵抗の渦電流測定

 

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