拡がり抵抗測定装置 SRP-170

SRP-170

SRP-170®システムは、拡がり抵抗プロファイリングメトロロジーをコスト効率よく利用できる市販システムです。

 

特徴:

  • 測定室に振動保護と遮音性能を装備
  • 手動(X軸自動ステージ/サンプルアライメント機能付き)
  • 拡がり抵抗測定範囲(Ω):1~109
  • 抵抗率範囲(Ωcm):10-4~>4×104
  • 顕微鏡:単一倍率(20× - 標準)
  • 照明器(寿命):ハロゲンライト(約200時間)
  • 手動のプローブ調整&評価、校正、プローブ配置/プローブ半径判定(間隔)
  • タッチスクリーン式ユーザーインターフェイス

オプション:

  • ベベル角度測定(BAM):レーザーセンサーにより、サンプルの実際のベベル角度の高精度測定が可能であり、正確な深さ方向プロファイリングを実現。
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