拡がり抵抗測定装置 SRP-170

SRP-170®システムは、拡がり抵抗プロファイリングメトロロジーをコスト効率よく利用できる市販システムです。

特徴：

• 測定室に振動保護と遮音性能を装備
• 手動（X軸自動ステージ/サンプルアライメント機能付き）
• 拡がり抵抗測定範囲（Ω）：1～10⁹
• 抵抗率範囲（Ωcm）：10^-4～＞4×10⁴
• 顕微鏡：単一倍率（20× - 標準）
• 照明器（寿命）：ハロゲンライト（約200時間）
• 手動のプローブ調整&評価、校正、プローブ配置/プローブ半径判定（間隔）
• タッチスクリーン式ユーザーインターフェイス

オプション：

• ベベル角度測定（BAM）：レーザーセンサーにより、サンプルの実際のベベル角度の高精度測定が可能であり、正確な深さ方向プロファイリングを実現。