SEM-AFM

SEM-AFM

SEMとAFMを完全に統合

最高の性能:

  • 対象領域へのAFMチップの位置決めをSEMがガイド
  • ステージ固定技術により、極めて高い安定性と低いドリフトを実現

使いやすさ:

  • AFMとSEMを単一のソフトウェアインターフェイスで操作
  • レーザーと検出器の自動アライメント

柔軟性:

  • サンプルスキャナーを9µmまたは25µmのスキャン範囲で設定
  • サンプルサイズは最大10mm

多用途性:

  • すべての市販カンチレバーに対応
  • Sample Transfer Shuttle

詳細はこちら: 
http://dme-spm.com/zeiss.html

 

お問い合わせ
アプリケーション・テクノロジー情報

お問い合わせ

ご質問・ご相談はこちら

TEL 045-620-7960

日本セミラボ株式会社株式会社

〒222-0033
神奈川県横浜市港北区新横浜2-15-10
YS新横浜ビル6階
TEL: 045-620-7960(代表) FAX: 045-476-2146

セミラボグループ
セミラボグループロゴ
Semilab AMSロゴ
Semilab QC ロゴ
Semilab SDI ロゴ
Semilab Sopra ロゴ
Semilab SSM ロゴ