SEM-AFM

SEM-AFM

SEMとAFMを完全に統合

最高の性能:

  • 対象領域へのAFMチップの位置決めをSEMがガイド
  • ステージ固定技術により、極めて高い安定性と低いドリフトを実現

使いやすさ:

  • AFMとSEMを単一のソフトウェアインターフェイスで操作
  • レーザーと検出器の自動アライメント

柔軟性:

  • サンプルスキャナーを9µmまたは25µmのスキャン範囲で設定
  • サンプルサイズは最大10mm

多用途性:

  • すべての市販カンチレバーに対応
  • Sample Transfer Shuttle

 

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日本セミラボ株式会社

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