SEM-AFM

SEMとAFMを完全に統合

最高の性能：

• 対象領域へのAFMチップの位置決めをSEMがガイド
• ステージ固定技術により、極めて高い安定性と低いドリフトを実現

使いやすさ：

• AFMとSEMを単一のソフトウェアインターフェイスで操作
• レーザーと検出器の自動アライメント

柔軟性：

• サンプルスキャナーを9µmまたは25µmのスキャン範囲で設定
• サンプルサイズは最大10mm

多用途性：

• すべての市販カンチレバーに対応
• Sample Transfer Shuttle