インゴッド欠陥検査装置 PLB-55

PLB-55

PLBは、太陽電池アプリケーションにおいてシリコンブロックの欠陥と不純物の濃度を高速に非接触で検出できる使いやすいシステムです。

特徴とシステム仕様:

インゴットイメージングシステム:

  • フォトルミネッセンスライフタイム測定 - 全4面のマッピング
  • 最大ブロックサイズ:159×159×500mm
  • ブロックタイプ:研磨済みまたは未研磨のブロック
  • 画像解像度:165µm/ピクセル
  • IR遷移ベースの検査
  • in-situ校正用のプローブ1つを用いたμ-PCDライフタイム測定を内蔵 - 1ラインスキャン/面、PL画像全体のライフタイム校正
  • 内蔵のオムロン製光学センサーによるブロックサイズの判定
  • 1ラインスキャン/面の抵抗率測定用渦電流ヘッドを内蔵
  • 1ラインスキャン/面の導電型判定用PN判定器を内蔵
  • 重量測定(最大50kg、20g精度)

追加測定:

  • 渦電流ヘッドによる抵抗率測定
  • μ-PCDヘッドによるライフタイム測定
  • パイロセンサーによる温度測定
  • P/N導電型測定
  • ブロック重量測定
  • ブロックサイズ測定
  • ブロック角度測定

ソフトウェアによる評価:

  • ライフタイムマップの計算
  • ライフタイムに基づく切断線の決定
  • 抵抗率に基づく切断線の決定
  • 欠陥領域率
  • カラー画像
  • Excelへのデータエクスポート

オプション:

  • 高解像画像(透過、PL)
  • ロボットによる全自動サポート
  • ブロックマーカー&印刷
  • CNC機用Gコード
  • MES
  • 研究開発用小片測定
  • 言語オプション:英語、中国語、ハンガリー語。他の言語についてはお問い合わせください。
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