ライフタイム測定装置 WT-1200A

WT-1200A

減衰品質管理による準定常状態µ-PCD(QSS µ-PCD QD)。ウェハーと太陽電池の品質管理を様々な製造段階で。

測定されるパラメータ:

  • 定常状態のライフタイムと注入レベルをパラメータなしで決定
  • 表面再結合速度(Smax
  • Implied-Voc
  • エミッター飽和電流(J0

特徴とシステム仕様:

  • 全自動の操作とデータ評価
  • ウェハー上の任意の位置で測定を選択可能
  • 単結晶・多結晶材料の測定
  • 特許取得済みの化学的表面パッシベーションオプションをウェハーに使用可能
  • ウェハーのライフタイムを太陽電池製造工程の各段階後に測定可能:
    • 入りas-cutウェハー
    • 拡散ウェハー(リンガラス膜あり、またはなし)
    • 窒化被覆ウェハー
    • 金属被覆ウェハー
    • 太陽電池の完成品
  • 高度なパラメータ(Smax、Voc、J0)を表面パッシベーション段階後に測定可能
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