薄膜測定      分光エリプソメーター SE-2000

分光エリプソメーター SE-2000

概要

分光エリプソメーターでは、数Å~数十μmの薄膜の膜厚値、屈折率、消衰係数などを非接触・非破壊で 高精度で測定することが可能です。

セミラボ社では、エリプソメーターのパイオニアであるSopra時代から、数多くの分光エリプソメーターの販売を行ってきました。 新製品エリプソメーターSE-2000では、従来の分光エリプソメトリーで培われた経験と技術を継承しつつ、 数多くのお客様の声を元に改善を行い、その結果、従来機以上の測定精度、操作性、安定性を実現しました。使い勝手の良い 解析ソフトウェアと豊富なデーターベースで、研究開発からインライン生産品質管理など様々な用途でご使用頂けます。

分光エリプソメーターSE-2000では、CCD検出器とPMT検出器の双方の光学系構成が選択できます。 回転補償子型分光エリプソメーターでは、フルレンジの測定データ(ψ,Δ)が取得でき、また、Mueller Matrixや偏光解消度の 評価にも対応しています。一般的な測定方式では困難なΔ=0付近の測定も回転補償子法であれは精度良く測定することが可能です。

仕様

- 波長範囲:193nm - 2500nm以上
- 測定スピード:全波長範囲 数秒
- 回転補償子型
- 入射角度 自動可変
- マイクロスポット
- 最大サンプルサイズ 300mm□
- XYマッピング等、各種サンプルステージ

分光エリプソメーターSE-2000は、高精度測定かつ高速測定を実現した装置です。深紫外から近赤外領域までの広い波長領域を 僅か数秒で測定して頂けます。
幅広い波長範囲と豊富なデータベースにより、様々なアプリケーションにおける膜厚値、光学 特性(屈性率N、消衰係数K)の測定に貢献いたします。

オプション類

- FTIR (赤外分光エリプソメーター)
- EPA (細孔率分布測定)
- 温度コントロール・ステージ
- 自動マッピング・ステージ
- 各種サンプル・ステージ
- 液体セル
- シート抵抗
- ラマン分光
- 反射率・透過率測定
- その他
- QCM

XY/Rho-Thetaマッピングステージ、温度コントロールステージなど一般的なサンプルステージから、FTIR、シート抵抗、 ラマン分光測定などの多彩なオプション類が取り揃えてありますので、様々なアプリケーションでご利用頂けます。

◆対応アプリケーション

- 半導体材料
- シリコン、有機、化合物半導体
- 太陽電池
- ポリマー
- 液晶、有機EL、フラットパネル・ディスプレイ
- 医療、バイオ
- PETフィルム
- 燃料電池
- グラフェン、ナノテク材料
- 生産向け大面積パネルマッピング測定
- Roll to Roll でのインライン品質管理
- R&D
- その他の薄膜

エリプソメーターでは、シリコンや化合物半導体、ガラス、石英などの一般的な基板から、 PETやPENフィルムや金属などの基板上に成膜された薄膜の測定まで様々なアプリケーションで ご使用を頂けます。


アプリケーション・ノート
シリコン基板上の酸化膜測定例.pdf
有機EL.pdf
太陽電池.pdf

Page top

分光エリプソメーターの測定可能な物理特性

- 膜厚値(単層膜、多層膜)
- 屈折率Nと消衰係数K
- 屈折率の勾配と材料組成
- Mueller Matrix
- 偏光解消度
- 異方性
- 反射率・透過率
- バンドギャップ
- エピタキシャル層の評価
- ドーパント濃度
- リタデーション(R0, Rth)

マッピング測定結果

エリプソメーター 膜厚面内分布
膜厚 面内分布
エリプソメーター 屈折率面内分布
屈折率 面内分布

解析結果 イメージ

エリプソメーター 屈折率データ
屈折率N
エリプソメーター 消衰係数データ
消衰係数K

測定原理イメージ

エリプソメーター SE-2000
エリプソメトリー 測定原理イメージ

分光エリプソメ―ターでは、全波長領域における測定データ(Ψ,Δ)に対して適切な光学モデルを用い解析を行います。解析の結果と して、各層の膜厚値、屈折率、消衰係数が得られます。膜厚値は、サブ・ナノメートルから測定が可能で、再現性にも優れています。 一般的な膜厚計とは異なり、非接触・非破壊で各層の膜厚と光学定数の解析が高精度で行えますので、多層薄膜や材料の光学特性の評価、 また、エピタキシャル層の評価等に幅広く使用されています。

Page top

SE-2000 特徴

- 回転補償子法による高精度測定
- 高精度CCDによる高速測定
- 高分解能PMTによる高精度測定
- 広い測定波長レンジ
- 豊富なデータベース
- 操作性の良いソフトウェア
- 多彩な拡張オプション
- 新デザインによる優れた操作性と安定性

分光エリプソメーターSE-2000では、深紫外から近赤外領域まで幅広い波長領域の光を精度よく測定するために、高品質の光学部品を 使用しています。これにより一般的な分光エリプソメーターでは実現が難しかった高精度な測定が可能となりました。


エリプソメーター ラインナップ

Page top