製品情報
AC ホール効果測定装置 PDL-1000
ホール効果測定装置 PDLシステムは、ACモード・DCモードの両方のホール効果測定に対応しています。DCモードに比べて、ACフィールド測定では、キャリア移動度0.03 cm2/Vs以上の測定が可能です。
様々な材料の測定にも使用いただけます。
ナノインデンター IND-1000
ナノインデンターは、押し込み荷重と変位を測定し、薄膜、樹脂、金属などの様々な物質の
硬度や弾性率を測定します。AFMに搭載することで、圧痕を直接観察することも可能です。
SEM-AFM
走査型プローブ顕微鏡（SPM/AFM）は、半導体や金属などの微小領域の表面形状や物理量を観察する顕微鏡です。原子間力顕微鏡AFMで、高精度に物質表面の画像が取得できます。SEMとAFMの組み合わせにより、更に高度な解析が可能になります。
光学式ポロシメーター SE-2000EPA
SE-2000EPAは、研究開発用の光学式ポロシメーターです。分光エリプソメトリーの原理を利用し、非接触、非破壊で薄膜の細孔率、細孔径分布を高速・高精度に測定します。
簡易分光エリプソメーター SE-1000
分光エリプソメーターは、薄膜の膜厚値、光学特性（屈折率、消衰係数）を高精度に測定します。絶縁膜、有機膜、金属膜などの単層膜や多層膜の測定が出来、また表面ラフネス層や界面層の評価も可能です。エリプソメトリーの測定原理が不明な方でも問題なくご使用頂けます。
分光エリプソメーター SE-2000 （回転補償子型）
SE-2000は、研究開発用途の分光エリプソメーターです。深紫外から近赤外領域の波長範囲で、単層膜から多層膜までの膜厚測定、光学定数（屈折率、消衰係数）を精度良く測定します。
ライフタイム測定装置 WT-1200A
少数キャリアのライフタイム測定装置です。u-PCD法により非接触・非破壊でシリコン・ブロックやウェハーのライフタイム測定をし、マッピング表示が可能です。ライフタイム測定により、シリコンや化合物半導体の鉄濃度等の汚染や不純物の評価をして頂けます。
インライン分光エリプソメーター µSE-2300
μSE-2500は、300mmウェハ専用の全自動分光エリプソメーターです。パターン認識機能を有し、半導体製造プロセスで成膜管理にご使用いただいています。
インライン分光エリプソメーター μSE-3000 / SE-3000
SE-3000は、デュアルFOUPタイプの全自動分光エリプソメーターです。半導体製造プロセスで、成膜管理検査にご使用いただいています。
