FPTシリーズ
FPTに搭載できる機能は次のとおりです。
多層の酸化物構造と半導体構造の光学的厚さと屈折率は、様々な工程段階で分光エリプソメーターにより特定できます。ELAプロセスの品質・結晶度・µ-PCR・ラインムラ密度を測定することでモニターすることができます。また接触角・応力・抵抗率の測定も可能です。ハードウェアとソフトウェアは、設計・内蔵ソフトウェア・工場との通信まで、セミラボが完全に管理します。
フラットパネルディスプレイ検査装置 FPTシリーズ
アプリケーション・テクノロジー情報
