フラットパネルディスプレイ検査装置 FPTシリーズ

FPTに搭載できる機能は次のとおりです。

• 分光エリプソメトリー
• 分光反射率計
• イメージング分光反射率計
• ラインムラ検出 - チップ品質
• マイクロ波光伝導 - チップ品質
• 4探針プローブ& 6探針プローブ
• 接触角測定
• ラマン結晶度

多層の酸化物構造と半導体構造の光学的厚さと屈折率は、様々な工程段階で分光エリプソメーターにより特定できます。ELAプロセスの品質も、結晶度、µ-PCR、ラインムラ密度を測定することでモニターすることができます。また、接触角、応力、抵抗率の測定も可能です。

ハードウェアとソフトウェアは、設計から、内蔵ソフトウェアと工場との通信まで、セミラボが完全に管理します。