フラットパネルディスプレイ検査装置 FPTシリーズ

FPTシリーズ

FPTに搭載できる機能は次のとおりです。

多層の酸化物構造と半導体構造の光学的厚さと屈折率は、様々な工程段階で分光エリプソメーターにより特定できます。ELAプロセスの品質も、結晶度、µ-PCR、ラインムラ密度を測定することでモニターすることができます。また、接触角、応力、抵抗率の測定も可能です。

ハードウェアとソフトウェアは、設計から、内蔵ソフトウェアと工場との通信まで、セミラボが完全に管理します。   

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