イメージング分光反射率計
イメージング分光反射率計は、
小さい領域（通常50×50µm～500×500µm）の高い空間分解能を調べるために使用されます。
したがって、主な2つのアプリケーションはハーフトーンプロセス管理（1µmのチャネル幅までの
フォトレジスト厚特性評価が可能）・印刷方式有機ELの厚さマップです。
高輝度のXeランプを光源として使用され高精度のモノクロメーターを用いることで、高速かつ正確な測定可能です。
波長分解能は数ナノメートルまで調整可能。波長域は測定した層の厚さ・光学特性に応じて選択できます。
広波長域の光源はモノクロメーターでフィルタリングされます。
単色光がサンプルに到達し、2D画像が同時に取得されます。
選択した各波長に対してこのプロセスが繰り返されます。
結果的に、一連の画像が提供され、各画像が所定の波長での結果を表します。
これらの画像を使って、
選択した各位置の反射スペクトルをソフトウェアが計算します。
イメージング分光エリプソメトリーには非常に精密な焦点合わせが必要ですが、
は高速・精密な圧電モーターを利用した内蔵の焦点調整システムによって行われます。
イメージング分光反射率計は、
分光反射率計およびエリプソメトリーと同じ分析エンジンを使用しています。
したがって、異なる2つのメトロロジーで測定している場合でも、
同等の光学モデル・材料に対して使用できます。
このため、正確な分光エリプソメトリー
（OLEDサンプルなどに必要）に基づいた精密な光学モデルを使用できます。
特徴
- 高速・正確な測定
- 精密な焦点調整
印刷方式有機ELサブピクセル特性評価
印刷方式有機ELは、
低価格＋手法が比較的簡単なため、有機層を含むデバイスの製造方法として非常に魅力的です。
ただし印刷層の均一性が、従来の方法で製造された層よりはるかに低くなるのが一般的になります。
セミラボでは、
1回の測定で1サブピクセル内のOLED構造全層を数秒で特定できるメトロロジーを開発しました。
横方向分解能は最高5µmであるため、印刷プロセスの精密な微調整が可能です。
FPT
FPTシリーズは、フラットパネルの検査と特性評価に専用のシリーズです。この製品は、第10.5世代までのLCDパネルとAMOLED TFTパネルの特性を評価できるよう設計されています。複数の測定プローブを1台のプラットフォームに組み合わせることができ、正確・高速なモーター駆動ステージと可搬重量により、フラットパネルの全表面を高精度で測定できます。
