接触角
接触角測定法は、固体の湿潤性を液体によって定量的に調べる手法です。接触角（Θ）自体は、3つの媒質の接触点における気液界面と液固界面のそれぞれの接線間の角度として定義されます。
接触角は、接着力と凝集力との均衡によって決まります。液固界面上の接着力により、液滴が表面全体に広がります。しかし、液体粒子間の凝集力によって、液滴は固体に対するその表面を最小化するため、表面上で形成される液滴は小さくなります。接触角が小さくなると、液滴が平らな固体平面上で拡散する傾向が増大します。したがって、接触角は湿潤性の逆指標となります。ここで使われる測定法は、液滴法です。
メトロロジーの概要
液滴の接触角は、接触角の取得と分析を行う高解像度カメラで測定され、このデータがソフトウェアで処理されます。等高線は、数式に基づいて液滴の輪郭に適合されます。測定ヘッドは、FPD分野の大型サンプルでの測定を可能にするよう特別に設計されています。
アプリケーション
接触角測定はあらゆる固体表面で実行できますが、当社のメトロロジーはFPD分野の大型サンプル向けに最適化されています。
特徴
- FPD分野向けに最適化されたソリューション。構造と測定法は大型ガラスサンプル向けに最適化。
- 非破壊の測定法
ELAプロセス特性評価（LTPS）
エキシマレーザーアニーリング（ELA）は、低温シリコン（LTPS）層の製造における主要なプロセスパラメータです。ELAにより、層の、そして最終的にはデバイスの重要な最終パラメータ（結晶度、移動度など）の多くが決まります。セミラボでは、最適エネルギー密度（OED）を簡単に特定できるメトロロジーの組み合わせを開発しました。この組み合わせでは、非常に類似したアニーリングパラメータでアニールされた2つのLTPSサンプルの特性を区別できます。この機能を用いると、ELAプロセスの微調整が簡単かつ高速になり、人間の判断によるマクロ検査は一切必要ありません。
さらに、当社の接触式6ppを使用すると、シート抵抗も特定できます。
FPT
FPTシリーズは、フラットパネルの検査と特性評価に専用のシリーズです。この製品は、第10.5世代までのLCDパネルとAMOLED TFTパネルの特性を評価できるよう設計されています。複数の測定プローブを1台のプラットフォームに組み合わせることができ、正確・高速なモーター駆動ステージと可搬重量により、フラットパネルの全表面を高精度で測定できます。
