TCOシート抵抗
薄膜のシート抵抗測定は、非接触・非破壊の渦電流法を用いて実現できます。渦電流測定は、コイル内の交流電流の流れに基づいています。発生した磁界がサンプル内に循環電流（渦電流）を生じさせます。渦電流測定は、実際には、材料内の電気損失を測定します。内蔵距離センサー（キャパシタンス測定に基づく）により、測定ヘッドがサンプルの上を一定の高さで移動します。その間、2つのセンサーが同じスポットを測定します。測定される信号はサンプルのシート抵抗およびプローブとサンプルとの間の距離にも左右されるため、シート抵抗の真値は距離値と渦電流信号から求めることができます。
渦電流は、導電性に優れた材料では、導電性が低い材料より高くなります。
特徴
- 非接触・非破壊の測定法
アプリケーション
IGZO電気特性評価
IGZO
ディスプレイ（FPD）分野向けの最先端の活性層の1つです。しかしこのプロセスの微調整は、層の特性を最高に保つため非常に正確な測定が必要です。セミラボのµ-PCRとシート抵抗の接触測定を用いると、パネルのマッピングを、妥当な速さで実行でき成膜の不適切な設定の表示・さらなる最適化のオプション設定が可能になります。µ-PCRでデバイスの移動度に関連するパラメータ（振幅）を特定できるだけでなく、他の層品質パラメータ（マイクロ波応答の減衰曲線から計算される）も計算できます。
製品ラインナップ
FPT
FPTシリーズは、フラットパネルの検査と特性評価に専用のシリーズです。この製品は、第10.5世代までのLCDパネルとAMOLED TFTパネルの特性を評価できるよう設計されています。複数の測定プローブを1台のプラットフォームに組み合わせることができ、正確・高速なモーター駆動ステージと可搬重量により、フラットパネルの全表面を高精度で測定できます。
