TCOシート抵抗

 

薄膜のシート抵抗測定は、非接触・非破壊の渦電流法を用いて実現できます。渦電流測定は、コイル内の交流電流の流れに基づいています。発生した磁界がサンプル内に循環電流(渦電流)を生じさせます。渦電流測定は、実際には、材料内の電気損失を測定します。内蔵距離センサー(キャパシタンス測定に基づく)により、測定ヘッドがサンプルの上を一定の高さで移動します。その間、2つのセンサーが同じスポットを測定します。測定される信号はサンプルのシート抵抗およびプローブとサンプルとの間の距離にも左右されるため、シート抵抗の真値は距離値と渦電流信号から求めることができます。

渦電流は、導電性に優れた材料では、導電性が低い材料より高くなります。

TCOシート抵抗

非接触式渦電流プローブ

 

特徴

  • 非接触・非破壊の測定法
アプリケーション

IGZO電気特性評価

 

IGZOは、ディスプレイ(FPD)分野向けの最先端の活性層の1つです。しかし、今日でも、このプロセスの微調整では、層の特性を最高に保つために、非常に正確な測定が必要です。

セミラボのµ-PCRとシート抵抗の接触測定を用いると、パネルのマッピングを妥当な速さで実行でき、成膜の不適切な設定の表示と、さらなる最適化のオプションの設定が可能になります。

µ-PCRでデバイスの移動度に関連するパラメータ(振幅)を特定できるだけでなく、その他の層品質パラメータ(マイクロ波応答の減衰曲線から計算される)も計算できます。

製品ラインナップ

FPT

FPTシリーズは、フラットパネルの検査と特性評価に専用のシリーズです。この製品は、第10.5世代までのLCDパネルとAMOLED TFTパネルの特性を評価できるよう設計されています。複数の測定プローブを1台のプラットフォームに組み合わせることができ、正確・高速なモーター駆動ステージと可搬重量により、フラットパネルの全表面を高精度で測定できます。

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