TCOシート抵抗

 

薄膜のシート抵抗測定は、非接触・非破壊の渦電流法を用いて実現できます。渦電流測定は、コイル内の交流電流の流れに基づいています。発生した磁界がサンプル内に循環電流(渦電流)を生じさせます。渦電流測定は、実際には、材料内の電気損失を測定します。内蔵距離センサー(キャパシタンス測定に基づく)により、測定ヘッドがサンプルの上を一定の高さで移動します。その間、2つのセンサーが同じスポットを測定します。測定される信号はサンプルのシート抵抗およびプローブとサンプルとの間の距離にも左右されるため、シート抵抗の真値は距離値と渦電流信号から求めることができます。

渦電流は、導電性に優れた材料では、導電性が低い材料より高くなります。

TCOシート抵抗

非接触式渦電流プローブ

 

特徴

  • 非接触・非破壊の測定法
アプリケーション

印刷方式有機ELサブピクセル特性評価

 

 

印刷方式有機ELは、低価格であり、手法が比較的簡単なため、有機層を含むデバイスの製造方法として非常に魅力的です。ただし、印刷層の均一性が、従来の方法で製造された層よりはるかに低くなるのが一般的です。

セミラボでは、1回の測定で1サブピクセル内のOLED構造の全層を数秒で特定できるメトロロジーを開発しました。横方向分解能は最高5µmであるため、印刷プロセスの精密な微調整が可能です。

 

製品ラインナップ

FPT

FPTシリーズは、フラットパネルの検査と特性評価に専用のシリーズです。この製品は、第10.5世代までのLCDパネルとAMOLED TFTパネルの特性を評価できるよう設計されています。複数の測定プローブを1台のプラットフォームに組み合わせることができ、正確・高速なモーター駆動ステージと可搬重量により、フラットパネルの全表面を高精度で測定できます。

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