4探針プローブによるシート抵抗測定

 

4探針プローブ(4PP)は、ドーピング密度、抵抗率、エミッターシート抵抗値のモニタリングを行うために広く使用されている接触測定法です。電圧と電流の電極を分離することで、接触抵抗の影響を測定結果から排除します。使用電圧が制限されているため、高抵抗率範囲では測定可能な電流が非常に小さくなり、これが測定に対する制限となります。当社では、6探針プローブ(6PP)法を用いることでこの問題を解決し、探針を2本追加して測定ノイズを可能な限り抑制しています。

4探針プローブによるシート抵抗測定

4探針プローブによるシート抵抗測定

メトロロジーの概要

4本の探針がサンプルに接触すると、電流発生器が、事前に定義されている電流を、外側の探針を介してサンプルに流します。2本の内側の探針は、探針間電圧を測定するために使用されます。この2つのパラメータから、サンプルのシート抵抗を計算できます。探針間の間隔は均等です(4PPでは1mm、6PPでは1.5mm)。探針は炭化タングステン製(4PP)あるいはステンレス製(6PP)です。4PPの場合、探針の接触力と曲率は所定の材料に応じて選択できます。このタイプの測定法は、自己校正に基づいているため、定期的な校正は不要です。

 

特徴

  • 6PPは測定範囲を1TΩ/sqまで拡大
  • 探針の曲率とプローブ力を幅広く選択できるため、破壊を抑えて精密な結果を得ることが可能
アプリケーション

ELAプロセス特性評価(LTPS)

エキシマレーザーアニーリング(ELA)は、低温シリコン(LTPS)層の製造における主要なプロセスパラメータです。ELAにより、層の、そして最終的にはデバイスの重要な最終パラメータ(結晶度、移動度など)の多くが決まります。セミラボでは、最適エネルギー密度(OED)を簡単に特定できるメトロロジーの組み合わせを開発しました。この組み合わせでは、非常に類似したアニーリングパラメータでアニールされた2つのLTPSサンプルの特性を区別できます。この機能を用いると、ELAプロセスの微調整が簡単かつ高速になり、人間の判断によるマクロ検査は一切必要ありません。

さらに、当社の接触式6ppを使用すると、シート抵抗も特定できます。

製品ラインナップ

FPT

FPTシリーズは、フラットパネルの検査と特性評価に専用のシリーズです。この製品は、第10.5世代までのLCDパネルとAMOLED TFTパネルの特性を評価できるよう設計されています。複数の測定プローブを1台のプラットフォームに組み合わせることができ、正確・高速なモーター駆動ステージと可搬重量により、フラットパネルの全表面を高精度で測定できます。

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