接触角
接触角測定法は、固体の湿潤性を液体によって定量的に調べる手法です。接触角（Θ）自体は、3つの媒質の接触点における気液界面と液固界面のそれぞれの接線間の角度として定義されます。
接触角は、接着力と凝集力との均衡によって決まります。液固界面上の接着力により、液滴が表面全体に広がります。しかし、液体粒子間の凝集力によって、液滴は固体に対するその表面を最小化するため、表面上で形成される液滴は小さくなります。接触角が小さくなると、液滴が平らな固体平面上で拡散する傾向が増大します。したがって、接触角は湿潤性の逆指標となります。ここで使われる測定法は、液滴法です。
メトロロジーの概要
液滴の接触角は、接触角の取得と分析を行う高解像度カメラで測定され、このデータがソフトウェアで処理されます。等高線は、数式に基づいて液滴の輪郭に適合されます。測定ヘッドは、FPD分野の大型サンプルでの測定を可能にするよう特別に設計されています。
アプリケーション
接触角測定はあらゆる固体表面で実行できますが、当社のメトロロジーはFPD分野の大型サンプル向けに最適化されています。
特徴
- FPD分野向けに最適化されたソリューション。構造と測定法は大型ガラスサンプル向けに最適化。
- 非破壊の測定法
IGZO電気特性評価
IGZO
ディスプレイ（FPD）分野向けの最先端の活性層の1つです。しかしこのプロセスの微調整は、層の特性を最高に保つため非常に正確な測定が必要です。セミラボのµ-PCRとシート抵抗の接触測定を用いると、パネルのマッピングを、妥当な速さで実行でき成膜の不適切な設定の表示・さらなる最適化のオプション設定が可能になります。µ-PCRでデバイスの移動度に関連するパラメータ（振幅）を特定できるだけでなく、他の層品質パラメータ（マイクロ波応答の減衰曲線から計算される）も計算できます。
FPT
FPTシリーズは、フラットパネルの検査と特性評価に専用のシリーズです。この製品は、第10.5世代までのLCDパネルとAMOLED TFTパネルの特性を評価できるよう設計されています。複数の測定プローブを1台のプラットフォームに組み合わせることができ、正確・高速なモーター駆動ステージと可搬重量により、フラットパネルの全表面を高精度で測定できます。
