分光ヘイズ&反射率

 

ヘイズは、拡散的に散乱された光と全透過光の割合です。透過光の(直接)正反射部分は、光トラップディスクが開状態の場合、トラップに吸収されます。この状況では、収集されたスペクトルは透過光の散乱部分のみを分散させます。トラップディスクが閉じている場合、測定スペクトルは全透過光で構成されます。

直接&散乱光の角度分布

 

測定原理と基本レイアウト:

  • 光源は長寿命キセノンランプ
  • 二股石英ファイバーバンドル:中心バンドルと外側バンドル
  • 外側バンドルのファイバーは光源モジュールにSMAコネクターで接続される
  • 光がサンプルの均等照射に対して外側リングに送られ、反射が中心ファイバー(スリットで終端)で収集され、高分解能検出器に伝えられる

特徴

  • 非破壊・非接触の測定法
  • サンプルの準備が不要
  • マッピング:X-Y、Rho-Theta、Combo X-Y & Theta
  • 高分解能
  • 高速データ取得&評価
  • 高感度、CCDまたはOMA NIR検出器
アプリケーション

IGZO電気特性評価

 

IGZOは、ディスプレイ(FPD)分野向けの最先端の活性層の1つです。しかし、今日でも、このプロセスの微調整では、層の特性を最高に保つために、非常に正確な測定が必要です。

セミラボのµ-PCRとシート抵抗の接触測定を用いると、パネルのマッピングを妥当な速さで実行でき、成膜の不適切な設定の表示と、さらなる最適化のオプションの設定が可能になります。

µ-PCRでデバイスの移動度に関連するパラメータ(振幅)を特定できるだけでなく、その他の層品質パラメータ(マイクロ波応答の減衰曲線から計算される)も計算できます。

製品ラインナップ

FPT

FPTシリーズは、フラットパネルの検査と特性評価に専用のシリーズです。この製品は、第10.5世代までのLCDパネルとAMOLED TFTパネルの特性を評価できるよう設計されています。複数の測定プローブを1台のプラットフォームに組み合わせることができ、正確・高速なモーター駆動ステージと可搬重量により、フラットパネルの全表面を高精度で測定できます。

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