分光ヘイズ&反射率

ヘイズは、拡散的に散乱された光と全透過光の割合です。透過光の（直接）正反射部分は、光トラップディスクが開状態の場合、トラップに吸収されます。この状況では、収集されたスペクトルは透過光の散乱部分のみを分散させます。トラップディスクが閉じている場合、測定スペクトルは全透過光で構成されます。

測定原理と基本レイアウト：

光源は長寿命キセノンランプ
二股石英ファイバーバンドル：中心バンドルと外側バンドル
外側バンドルのファイバーは光源モジュールにSMAコネクターで接続される
光がサンプルの均等照射に対して外側リングに送られ、反射が中心ファイバー（スリットで終端）で収集され、高分解能検出器に伝えられる

特徴

非破壊・非接触の測定法
サンプルの準備が不要
マッピング：X-Y、Rho-Theta、Combo X-Y & Theta

高分解能
高速データ取得&評価
高感度、CCDまたはOMA NIR検出器

アプリケーション

IGZO電気特性評価

IGZO

ディスプレイ（FPD）分野向けの最先端の活性層の1つです。しかしこのプロセスの微調整は、層の特性を最高に保つため非常に正確な測定が必要です。セミラボのµ-PCRとシート抵抗の接触測定を用いると、パネルのマッピングを、妥当な速さで実行でき成膜の不適切な設定の表示・さらなる最適化のオプション設定が可能になります。µ-PCRでデバイスの移動度に関連するパラメータ（振幅）を特定できるだけでなく、他の層品質パラメータ（マイクロ波応答の減衰曲線から計算される）も計算できます。

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製品ラインナップ

FPT

FPTシリーズは、フラットパネルの検査と特性評価に専用のシリーズです。この製品は、第10.5世代までのLCDパネルとAMOLED TFTパネルの特性を評価できるよう設計されています。複数の測定プローブを1台のプラットフォームに組み合わせることができ、正確・高速なモーター駆動ステージと可搬重量により、フラットパネルの全表面を高精度で測定できます。