MBM-2201
MBM シリーズは、実績のある旧リハイトン社の技術を継承した
化合物半導体向けシート抵抗・移動度測定装置です。
SEMILAB プラットフォームを得て、ノイズ低減等で測定精度の向上と
共通ソフトウェアの採用により。使いやすいシステムとなっています。
シート抵抗・移動度ともにマッピング機能により
測定対象物の面内分布を手軽に得ることが可能です。
200mm 径までの自動搬送に対応します。
構成
- 4"~5"または6"~8"インチサンプルに対応
- 2つのオープンカセットによるデュアルステーション自動搬送
- 3”インチのみ手動搬送
- 200mm対応、面内マッピングステージ
- FFUなしでのISOクラス1清浄度
オプション
- SECS/GEM通信機能
- イオナイザー
- 透明サンプル対応OCR
- 校正用サンプル