MBM シリーズは、実績のある旧リハイトン社の技術を継承した化合物半導体向けシート抵抗・移動度測定装置です。SEMILAB プラットフォームを得て、ノイズ低減等で測定精度の向上と共通ソフトウェアの採用により。使いやすいシステムとなっています。シート抵抗・移動度ともにマッピング機能により測定対象物の面内分布を手軽に得ることが可能です。200mm 径までの自動搬送に対応します。
LEI-1510シリーズでは、2インチから最大 8インチまでの Si ウェーハ、化合物半導体（GaAs、GaN、InP等）epi ウエハを非接触・破壊にてシート抵抗が可能です。
LEI-1610シリーズでは、2インチから最大 8インチまでの Si ウェーハ、化合物半導体（GaAs、GaN、InP等）epi ウエハを非接触・破壊にてキャリア移動度、シート抵抗、シートチャージ密度が測定可能です。
セミラボ製SPLシリーズは、深紫外（DUV）から近赤外（NIR）のスペクトル範囲におけるPL分光測定によって、GaNやAlGaN、AlNといったワイドギャップ半導体の欠陥と不純物の評価が可能
エピ膜厚測定装置EIRは、FTIRと赤外干渉の原理を用いて、エピタキシャル膜（エピ膜）の膜厚値を精度良く測定します。従来のFTIRでは測定が困難であった遷移領域の膜厚まで非接触、非破壊で測定します。炭素濃度、酸素濃度測定にもご使用頂けます。
化合物半導体向けシート抵抗・移動度測定装置です。SEMILAB プラットフォームを得て、ノイズ低減等で測定精度の向上と共通ソフトウェアの採用により。使いやすいシステムとなっています。
日本セミラボ株式会社
〒222-0033
神奈川県横浜市港北区新横浜2-15-10
YS新横浜ビル6階
TEL: 045-620-7960（代表）
FAX: 045-476-2146
