MBM-2201
MBM シリーズは、実績のある旧リハイトン社の技術を継承した化合物半導体向けシート抵抗・移動度測定装置です。SEMILAB プラットフォームを得て、ノイズ低減等で測定精度の向上と共通ソフトウェアの採用により。使いやすいシステムとなっています。シート抵抗・移動度ともにマッピング機能により測定対象物の面内分布を手軽に得ることが可能です。200mm 径までの自動搬送に対応します。
構成
- 4"~5"または6"~8"インチサンプルに対応
- 2つのオープンカセットによるデュアルステーション自動搬送
- 3”インチのみ手動搬送
- 200mm対応、面内マッピングステージ
- FFUなしでのISOクラス1清浄度
オプション
- SECS/GEM通信機能
- イオナイザー
- 透明サンプル対応OCR
- 校正用サンプル
