MBM シリーズは、実績のある旧リハイトン社の技術を継承した
化合物半導体向けシート抵抗・移動度測定装置です。
SEMILAB プラットフォームを得て、ノイズ低減等で測定精度の向上と
共通ソフトウェアの採用により。使いやすいシステムとなっています。
シート抵抗・移動度ともにマッピング機能により
測定対象物の面内分布を手軽に得ることが可能です。
200mm 径までの自動搬送に対応します。
LEI-1510シリーズでは、2インチから最大 8インチまでの Si ウェーハ、化合物半導体（GaAs、GaN、InP等）epi ウエハを非接触・破壊にてシート抵抗が可能です。
LEI-1610シリーズでは、2インチから最大 8インチまでの Si ウェーハ、化合物半導体（GaAs、GaN、InP等）epi ウエハを非接触・破壊にてキャリア移動度、シート抵抗、シートチャージ密度が測定可能です。
セミラボ製SPLシリーズは、深紫外（DUV）から近赤外（NIR）のスペクトル範囲におけるPL分光測定によって、GaNやAlGaN、AlNといったワイドギャップ半導体の欠陥と不純物の評価が可能
エピ膜厚測定装置EIRは、FTIRと赤外干渉の原理を用いて、エピタキシャル膜（エピ膜）の膜厚値を精度良く測定します。従来のFTIRでは測定が困難であった遷移領域の膜厚まで非接触、非破壊で測定します。炭素濃度、酸素濃度測定にもご使用頂けます。
化合物半導体向けシート抵抗・移動度測定装置です。SEMILAB プラットフォームを得て、ノイズ低減等で測定精度の向上と共通ソフトウェアの採用により。使いやすいシステムとなっています。
日本セミラボ株式会社
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