キャリア密度・移動度

 

セミラボ社製のホール効果測定装置 PDLシステムは、ACモード、DCモードの両方のホール効果測定に対応しています。DCモードに比べて、ACフィールド測定では、キャリア移動度0.1 cm2/Vs以下の測定が可能で、様々な材料の測定に使用して頂けます。また、少数キャリアを分離して評価が可能です。一般的に、半導体材料、太陽電池、熱電効果材料などの測定にご使用頂いています。

ホール効果測定

テクノロジー

ホール効果測定 PDLシステム

ホール効果測定は、電子材料、電子デバイスの評価でとても重要な役割を果たしています。しかしながら、低移動度材料、高抵抗かつ薄膜材料や低抵抗材料の測定では、小さい信号がノイズに埋もれてしまい評価が困難という事実があります。

この問題をどのようにして解決できるでしょうか?

AC磁場中でロックインアップ検出を行うことで、PDLシステム(Parallel Dipole Line system)は、ユニークなキャメルバックフィールド閉じ込め効果(camelback field confinement effect)を実現する斬新な磁気トラップシステムになります。反磁性浮上効果(diamagnetic levitation effect)により、グラファイトなどの反磁性物質が中心でトラップされることになります。

この技術を使用することにより、セミラボ社製PDL(Parallel Dipole Line)の技術ホール効果測定システム PDL-1000は、研究開発のアプリケーションにおいて、シート抵抗、キャリア濃度、移動度の測定をワイドレンジかつ高感度で測定することが可能です。

セミラボ社製PDL-1000で使用されているPDL(Parallel Dipole Line)の技術は、IBMによって開発された特許技術です。

PDL(Parallel Dipole Line)の技術については、下記ページに記載があります。 IBM research of PDL Hall effect technique.

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