半導体デバイス製造プロセスにおいて、シート抵抗測定はとても重要な検査項目です。

シート抵抗マッピングデータは、エピタキシャル成長炉の最適化に用いられ歩留まりの向上に貢献します。

Semilab（旧リハイトン社 Lehighton Electronics, Inc.）の

シート抵抗測定装置LEI-1510シリーズは、非接触非破壊でシート測定の測定が可能です。


LEI-1510シリーズは、

化合物半導体の様々なアプリケーションに対応できるよう設計されており、

特にLEIテクノロジーによるシート抵抗マッピンググラフは高周波デバイスの分野において、

LEIマップとして幅広く認識されております。