非接触シート抵抗測定 (Eddy current)とは
半導体デバイス製造プロセスにおいて、シート抵抗測定はとても重要な検査項目です。シート抵抗マッピングデータは、エピタキシャル成長炉の最適化に用いられ歩留まりの向上に貢献します。
Semilab（旧リハイトン社 Lehighton Electronics, Inc.）のシート抵抗測定装置LEI-1510シリーズは、非接触非破壊でシート測定の測定が可能です。LEI-1510シリーズは、化合物半導体の様々なアプリケーションに対応できるように設計されていて、特に、このLEIテクノロジーによるシート抵抗マッピンググラフは、高周波デバイスの分野において、LEIマップとして広く認識されています。
Figure 1.非接触シート抵抗マップ
LEI-1510は、Eddy current（渦電流法）の技術を用いて、非接触かつ非破壊でシート抵抗を測定します。
非接触シート抵抗測定とは
抵抗率測定の原理としては、コイル中の交流電流によって誘導される導電性材料中のEddy current（渦電流法）の測定になります。このEddy current測定は、実際には、マテリアル中の電気損失の測定となります。
測定シグナルは下記の要因で変化します:
・ウェハー上に成膜された膜材の場合は、抵抗率、膜厚値
・薄膜の場合は、シート抵抗
・サンプルとコイル間の距離
・導電性の大きな材料ほど大きなEddy current
Figure 2.シート抵抗測定ヘッド
特徴
- ・非破壊
- ・非接触
- ・4PPと異なり、プローブの消耗なし
- ・高周波デバイスでのスタンダード評価装置
製品ラインナップ
非接触シート抵抗測定 Eddy Current
- ・Eddy currentによる非接触非破壊シート抵抗測定
- ・高周波デバイスの特性評価スタンダード
- ・LEDによる優れた最適化
- ・化合物半導体上の金属薄膜評価に最適
非接触シート抵抗 Eddy current LEI-1510シリーズ
LEI-1510シリーズでは、2インチから最大 8インチまでの Si ウェーハ、化合物半導体（GaAs、GaN、InP等）epi ウエハを非接触・破壊にてシート抵抗が可能です。
